[发明专利]具有狭缝阀补偿的扩散板

摘要

本发明主要包括一种用于PECVD腔室的扩散板。该扩散板包括多个中空阴极腔。与处理腔室内的狭缝阀最接近设置的扩散板的边缘可具有中空阴极腔的形状和/或尺寸，其被调整以补偿狭缝阀的邻近区域。通过调整最靠近狭缝阀的中空阴极腔的形状和/或尺寸，扩散板可允许整个处理腔室上的均匀等离子体分布，并由此，允许在PECVD工艺期间基板上的均匀薄膜厚度。

主权项

1.一种气体分配板组件，包括：扩散板元件，其具有上游侧、下游侧、与处理腔室中的狭缝阀邻近设置的第一边缘、中心和第二边缘；以及通过所述上游侧和下游侧之间的多个气体通道，该多个气体通道包括：第一气体通道，其具有邻近所述扩散板元件的所述第一边缘设置的第一中空阴极腔；第二气体通道，其具有邻近所述扩散板元件的所述中心设置的第二中空阴极腔；以及第三气体通道，其具有邻近所述第二边缘设置的第三中空阴极腔，其中所述第一中空阴极腔、第二中空阴极腔和第三中空阴极腔具有不同的容积。