[发明专利]蚀刻液组合物与蚀刻方法无效
| 申请号： | 200710005736.8 | 申请日： | 2007-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101245462A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 牛台宾 | 申请（专利权）人： | 峻科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/30 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴小瑛 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蚀刻液组合物与蚀刻方法，其中，所述蚀刻液组合物至少包含氧化剂、酸类以及盐类中的任两种，且所述蚀刻液组合物的pH值介于1至7之间。其中所述氧化剂成分选自于过氧化氢、过硫酸铵、过硫酸钾以及硝酸铵铈；所述酸类成分选自于氯酸、过氯酸、醋酸、硝酸、氢氟酸、硫酸以及草酸；而所使用的盐类成分选自氟化铵、氢氟铵、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、氯化铵以及全氟辛基磺酸胺(C8F17SO3NH4)。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种蚀刻液组合物，包含：a)选自于第一群组的至少一种氧化剂，所述第一群组包含：过氧化氢、过硫酸铵与过硫酸钾；b)选自于第二群组的至少一种酸类，所述第二群组包含：草酸、过氯酸、氢氟酸、硫酸、盐酸、硝酸；以及c)水，其中所述蚀刻液组合物的pH值介于1至7之间。
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