[发明专利]基于微机电系统装置的薄膜致动器及其方法

摘要

本发明公开了一种微机电系统(MEMS)装置，其适合于从DC应用(如切换电信号线)到RF应用(如可调电容器和开关)的应用范围。在本发明的一个实施例中，该装置包括以固定距离彼此隔开的底部基板和顶部基板。设置在基板之间的是柔性S形薄膜，该薄膜具有一电极或可导电的电极层，其一端与顶部基板连接，另一端与底部基板接触。一导电触点单元与薄膜致动器的底面连接，用于在开关处于闭合位置时使信号短路。当将电压施加到薄膜和底部基板上的电极层之间时，薄膜因静电力而以起伏的波状运动偏斜，使得触点单元移动到与信号线接触。当将电压施加到薄膜致动器和顶部基板上的电极层之间时可以主动地打开该装置，从而使触点单元向上移动而不与信号线接触。该MEMS切换装置可以应用于开关矩阵板，以自动地切换电话线或应用于可调电容器型式的RF应用。

主权项

1.一种适合于在电子应用中使用的微机电系统装置，包括：第一基板；布置在第一基板上使得在基板之间保持距离的第二基板；布置在第一基板和第二基板之间的柔性薄膜，其中薄膜的第一端部接触第一基板，第二端部连接到第二基板；在薄膜上的至少一个导电元件，用于与所述基板之一上的至少一个导电元件相互作用；以及连接到至少一个所述基板上的致动电极和连接到所述薄膜上的至少一个致动电极，用于提供静电力以机械地操作致动器，使所述薄膜以起伏的波状运动移动，使得在所述薄膜上电气地相互作用的元件移动成与所述基板中之一上的至少一个导电元件相互作用。