[发明专利]有机EL元件制造用蒸镀装置的室内的清洗方法无效
| 申请号： | 03814054.3 | 申请日： | 2003-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1662637A | 公开（公告）日： | 2005-08-31 |
| 发明（设计）人： | 林伸弥;成井真一部;冈本秀一;津崎真彰 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C11D7/28 | 分类号： | C11D7/28;H05B33/10;H05B33/14;C23C14/00;B08B3/14 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在有机EL元件制造时，通过回收、再利用蓄积在室内表面、被废弃的Alq3等的化合物，以降低制造成本。利用2，2，3，3，4，4，5，5－八氟戊醇等含氟醇清洗附着了Alq3等化合物的室内的表面或室内的部件，回收Alq3。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 el 元件 制造 用蒸镀 装置 室内 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.有机EL元件制造用蒸镀装置的室内的清洗方法，它是在蒸镀装置的室内，在基板表面蒸镀由8-羟基喹啉或其衍生物的金属络合物构成的化合物的有机EL元件制造用蒸镀装置的室内的清洗方法，其特征在于，包括在基材表面上蒸镀上述化合物的同时，用含氟醇对粘附了上述化合物的室的内表面或配置在室内的部件的表面进行清洗，将所附着的上述化合物除去的工序，以及将含有上述化合物的含氟醇回收的工序。
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