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- [发明专利]阀模块和包括所述阀模块的衬底处理装置-CN202080028385.6在审
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金像鈱;李在民
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株式会社STS
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2020-01-03
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2021-12-03
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H01L21/67
- 本发明涉及一种阀模块和包括所述阀模块的衬底处理装置，且更具体地说，涉及一种安装于由等离子体活化的气体流经的流动路径中的阀模块和包括所述阀模块的衬底处理装置。揭露了一种安装于衬底处理装置中的阀模块(400)，所述衬底处理装置包括：处理腔室(100)，形成衬底处理空间(S)；以及流动路径部分(300)，耦合到处理腔室(100)且形成由等离子体活化的气体流经的流动路径(302)，其中阀模块(400)包括：开/闭板(410)，经安装其以能够经由设置在流动路径部分(300)的一侧上的开口狭缝(301)在流动路径(300)上来回移动，从而打开及关闭流动路径(302)；第一驱动部分(420)，驱动开/闭板(410)的向前和向后移动；开/闭板保护部分(430)，移动到开/闭板(410)与流动路径(302)之间的空间中，以在开/闭板(410)向后移动且保持流动路径(302)打开时防止开/闭板(410)被活化气体损坏；以及第二驱动部分(440)，驱动开/闭板保护部分(430)的移动。
- 模块包括衬底处理装置
- [发明专利]一种在常温下辐射远红外线的植物营养剂及制备方法-CN201710181817.7在审
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李在民
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青岛创恩康环保设备有限公司
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2017-03-24
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2018-05-08
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C05G3/00
- 一种在常温下辐射远红外线的植物营养剂及制备方法，该植物营养剂包括木醋液以及A的水溶物，A为中华麦饭石、伊来石、金刚药石、火山灰、群马长石和黑云母的粉末状混合物；其中A中各个组分配比为0.5‑20wt％中华麦饭石、0.5‑20wt％伊来石、0.5‑20wt％金刚药石、0.5‑20wt％火山灰、0.5‑20wt％群马长石和0.5‑20wt％黑云母；其制备方法包括如下步骤：(1)按照各组分进行配比混合，然后将1kg粉末状混合物A投入50L的水中，搅拌均匀，并静置40h；(2)除去沉淀物，加入200ml木醋液，并搅拌均匀，得到营养剂制成品。本发明能够提供植物生长必须的磷、钙等微量元素，满足植物营养成分的吸收与供给，促进光合作用；利用红外线的物理作用提高植物细胞活性，促进新陈代谢，实现增加产量为目的。
- 一种常温辐射红外线植物营养制备方法
- [发明专利]一种用远红外线辐射体制备保健益生酒的方法-CN201710298635.8在审
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李在民
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青岛创恩康环保设备有限公司
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2017-05-02
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2018-05-08
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C12H1/16
- 一种用远红外线辐射体制备保健益生酒的方法，它包括如下步骤：制备远红外线辐射体，它由粘土以及粉末状的中华麦饭石、伊来石、金刚药石、火山灰、群马长石和黑云母加水混合后烤制而成；将装有造酒用水的容器插入到辐射器中，常温下辐射至少3小时，获得具有辐射远红外线的造酒用水，而后制备原酒，再将装有原酒的容器插入到辐射器中，常温下辐射至少3小时，获得成品酒。本发明利用天然矿物质混合制造出在常温状态下放射远红外线的远红外线辐射体，它能够在常温下产生远红外发射率为90‑97％，辐射波长为4‑16μm的远红外线，采用该辐射体通过非接触法获得的用于造酒的水体，并依此制造的保健益生酒具有很好的保健效果，还提高了酒品的口感和品质。
- 一种红外线辐射体制备保健益生酒方法
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