|
钻瓜专利网为您找到相关结果 17个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种精雕机除尘机构-CN202320265947.X有效
-
李德平;强音
-
德赢创新(上海)半导体设备技术有限公司
-
2023-02-20
-
2023-07-25
-
B23K26/70
- 本实用新型公开了数控机床设备技术领域的一种精雕机除尘机构,包括精雕机机体,精雕机机体的顶部安装有工作台,所述工作台的顶部通过导轨连接有龙门架,龙门架的一侧安装有精雕机头,精雕机头的背面通过电动滑轨连接有安装架,安装架通过顶部两端的斜面贯穿安装有吹气管,安装架的侧面贯穿连接有驱动齿轮,驱动齿轮啮合连接有从动齿轮,从动齿轮的内部贯穿安装有清扫杆,清扫杆的表面连接有除尘刷毛,工作台的顶部安装有精雕台且开设有集尘槽。本实用新型通过设置与精雕机头随行的一体式除尘部件,可在雕刻的同时对精雕机头正下方的碎屑进行清理和收集,避免碎屑影响精雕精度,极大地方便了精雕台上碎屑和灰尘的清理与收集。
- 一种精雕机除尘机构
- [实用新型]自动化晶圆清洗装置-CN202320266049.6有效
-
李德平;强音
-
德赢创新(上海)半导体设备技术有限公司
-
2023-02-20
-
2023-06-30
-
H01L21/67
- 本实用新型公开了晶圆清洗设备技术领域的自动化晶圆清洗装置,包括清洗箱,所述清洗箱的内部安装有沥水槽,沥水槽的内部贯穿连接有方向调节轴,方向调节轴的一端与电机的输出端连接,方向调节轴的中间处固定连接有晶圆片定位槽,晶圆片定位槽的两侧连接有稳定架,稳定架的顶端胶合连接有弹性卡柱,清洗箱的两侧分别安装有滑轨,滑轨的内部贯穿连接有龙门架,龙门架的顶部安装有冲洗部件和烘干部件。本实用新型通过设置批量安装晶圆件的晶圆片定位槽,实现对晶圆件的批量清洗和烘干,弹性卡柱对晶圆件的夹持稳定,且夹持部件与晶圆件间的拆装操作简单、方便,有利于提升晶圆件的清洗效率。
- 自动化清洗装置
- [实用新型]一种晶圆转运光罩盒-CN202223362365.8有效
-
李德平;强音
-
德赢创新(上海)半导体设备技术有限公司
-
2022-12-14
-
2023-04-18
-
H01L21/673
- 本实用新型公开了半导体技术领域的一种晶圆转运光罩盒,包括盒体,所述盒体的侧面卡接有配重管,盒体的底部四端角处分别固定有支撑杆,支撑杆的底部分别胶合连接有吸盘,盒体的顶部开设有限位槽,限位槽的内部活动贯穿卡接有移动座,移动座的顶部连接有侧滑盖。本实用新型的配重管用于盒体的配重,提升盒体放置及使用状态下的稳定性,同时通过配合吸盘,通过增加盒体底部与放置平面的吸附力,避免拿取晶圆片的过程中,盒体发生倾倒和晃动,大大提升了光罩盒使用的便捷性,同时有利于节省晶圆片的转运时间,通过改进传统的翻盖为侧滑盖,可优化盒体顶部两端的受力,规避了传统翻盖式上盖易使盒体两端受力不平衡而倾倒的问题。
- 一种转运光罩盒
- [实用新型]一种含氟聚合物流体管路接头-CN202223362397.8有效
-
李德平;强音
-
德赢创新(上海)半导体设备技术有限公司
-
2022-12-14
-
2023-04-18
-
F16L47/14
- 本实用新型公开了管路接头技术领域的一种含氟聚合物流体管路接头,包括第一管体和第二管体,所述第一管体的内部卡接安装有第一含氟聚合物内衬,所述第二管体的内部卡接安装有第二含氟聚合物内衬。本实用新型在第一含氟聚合物内衬的一端开设有同心的两个卡接槽,第二管体一端两个同心的卡接突起嵌入连接在卡接槽内,进行同心双重卡接密封,避免液体泄漏,同时第一管体和第二管体之间嵌入连接密封圈,通过密封圈进行二次密封,在第一管体和第二管体上均设置有安装槽,第二管体上活动连接的多个拉杆卡接在安装槽内,通过手部旋转一侧的压杆带动偏心块,通过偏心块拉动拉杆,将第一管体和第二管体进行多点的压紧,完成安装连接。
- 一种聚合物流体管路接头
- [实用新型]一种带电子标签的晶圆载具-CN202222232239.4有效
-
李德平;强音
-
德赢创新(上海)半导体设备技术有限公司
-
2022-08-24
-
2023-01-10
-
H01L21/673
- 本实用新型公开了一种带电子标签的晶圆载具,属于晶圆载具技术领域,包括载具主体、电子标签主体,所述载具主体为U形结构,且上表面嵌入安装电子标签主体,所述载具主体的侧壁上安装有拉手,所述电子标签主体的两侧分别对称分布有调节头,所述载具主体的两侧内壁上对应两组调节处开设有安装槽,所述电子标签主体靠近安装槽位置处的进口端转动设有旋转钮;所述安装槽沿载具主体内壁水平排列有多组,且安装槽的内部贴合顶端内壁设有紧固压板,所述紧固压板的点不固定连接有升降柱,所述升降柱竖直设置在载具主体的内部,所述载具主体内设有供升降柱活动的空腔。该一种带电子标签的晶圆载具,使得晶圆的收纳更加规整。
- 一种电子标签晶圆载具
- [实用新型]小尺寸晶圆载具结构-CN202222232247.9有效
-
强音;李德平
-
德赢创新(上海)半导体设备技术有限公司
-
2022-08-24
-
2023-01-10
-
B08B3/02
- 本实用新型公开了小尺寸晶圆载具结构,属于晶圆加工技术领域,包括载具主体,所述载具主体的内壁两侧对称开设有供晶圆插入的边槽,所述载具主体的上表面呈L形间隔分布有三组配合框,所述载具主体的底端面对应三组配合框处固定安装有三组副接板,所述载具主体的上表面与底端面还设有彼此适配的连接杆以及连接框;所述连接杆沿连接块的上表面伸入,所述连接框的内部水平设有弹性板,所述弹性板的底端面固定连接有弹簧,所述弹性板的居中处贯穿有穿杆;所述穿杆竖直设置,且一侧外壁上竖向分布开设有第二齿槽。该小尺寸晶圆载具结构,使得晶圆在需要整体加工或者堆码放置时具有相互固定的功能,有效提升整体加工的便捷性。
- 尺寸晶圆载具结构
- [实用新型]一种晶圆载具的生产模具-CN202222233680.4有效
-
李德平;强音
-
德赢创新(上海)半导体设备技术有限公司
-
2022-08-24
-
2023-01-10
-
B29C45/17
- 本实用新型公开了一种晶圆载具的生产模具,属于晶圆载具加工生产技术领域,包括下模座,下模座顶部通过导向杆固定有顶板,导向杆上套设安装有上模座,下模座顶部处设置有下模具,上模座底部安装有上模具,下模具顶部处安装有固定板,上模座底部和下模具顶部处均开设有卡接腔,卡接腔内设置有定位组件,固定板底部以及上模具顶部均突出设置有卡接块;定位组件包括转动杆,转动杆的中段处套设安装有蜗轮,蜗轮上对称套设安装有J型的定位块,卡接腔内横向转动安装有蜗杆,卡接块的两端开设有供定位块卡接的卡紧槽。该一种晶圆载具的生产模具,可以在对不同尺寸的晶圆载具进行生产时,直接更换可拆卸的上模具和下模具,降低拆卸以及操作难度。
- 一种晶圆载具生产模具
|