AMAT 300MM TXZ CHAMBER新型边缘环,所述边缘环设置为环状,所述边缘环的外径为347.84mm,所述边缘环的内径为296.55mm;相比于传统的设计,本方案省去用三颗螺丝固定的麻烦,保养人员更省事省时,缩短了时间,提高了设备生产的时间,提高了设备利用率;本方案的边缘环比较厚,加工难度降低,不容易在高温下变形,杜绝了高温造成内侧变形翘起,晶圆被顶起而导致受热不均现象,从而改善了CVD氮化钛工艺的厚度均匀性问题,解决了设备报警,产品报废问题;本产品的清洗次数也有提升,提升了零件寿命,降低了成本;原有设计两个贴合不紧处易累积颗粒,而本产品完全不存在此问题,减少了颗粒的产生,提高了产品品质。