[发明专利]硅微热致动泵及其制造工艺

权利要求书

1、一种在硅薄膜片上蚀刻有泵腔，流体沟道和单向阀的硅微热致动泵，其特征是用由单晶硅薄膜，铝薄膜组成的双金属层热致动原理工作，硅薄膜片为两片，在单晶硅薄膜和铝薄膜之间有加热元件。

2、一种硅微热致动泵的制造工艺，其特征是由下述工序组成，

  1．首先在双面抛光N型硅片上，双面热氧化生长8000ASiO₂，低压化学气相淀积(LPCVD)1500A的Si₃N₄，这两层薄膜作为体硅异向腐蚀掩壁膜；

  2．正面进行光刻，等离子刻蚀出阀口的腐蚀窗口，使用KOH溶液40％进行异向腐蚀，深度为30μm：

  3．背面进行双面光刻，等离子刻蚀形成泵腔腐蚀窗口，第二次体硅腐蚀至泵腔单晶硅膜厚10μm左右，此时阀口处只剩下SiO₂和Si₃N₄膜，它们将作为后续工艺的支撑薄膜；    

  4．在背面低氧淀积，扩磷，厚度为1.5μm的SiO₂，作为牺牲层材料；双面淀积2μm厚多晶硅，扩磷，浓度为R0=20Ω/口，退火，去除残余应力，正面光刻，等离子刻蚀形成驱动薄膜的加热电阻；背面光刻，刻蚀形成单向阀膜片，HF缓冲液中进行牺牲层腐蚀释放阀膜片；

  5．在正面低压化学气相淀积(LPCVD)淀积Si₃N₄，厚1000A，光刻及等离子体蚀刻形成绝缘层；

  6．正面真空蒸发铝膜，厚度为5μm，光刻，腐蚀铝，形成双金属层及电极引线。