[实用新型]表面微观形貌超精激光测头无效
| 申请号： | 92225165.7 | 申请日： | 1992-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN2148311Y | 公开（公告）日： | 1993-12-01 |
| 发明（设计）人： | 李鹏生;强锡富;于英满;张琢;赵慧杰;李华;甘敦文 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150000 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 微观 形貌 激光 | ||
【权利要求书】：
1、一种用于表面微观形貌测量的超精激光测头，其特征在于：由激光器(1)、反射镜(2)(4)、望远系统(3)、分光镜(5)、渥拉斯顿棱镜(6)、截距调节装置(7)、物镜(8)和光电接收器(9)(10)等组成测量装置；激光器通过支架固定在壳体(14)上；反射镜、望远系统和分光镜组成望远镜组件，该组件也通过支架固定在壳体(14)上；渥拉斯顿棱镜、截距调节装置和物镜等组成干涉组件，该组件通过花键孔用螺钉固定在壳体(14)上；
2、如权利要求1所述的激光测头，其特征在于采用了一个截距调节装置（7），三个不同倾角的平行平板玻璃装在一个调节环上 ，调节环安装在物镜（8）的下面，通过微型滚珠轴承固定在由（6）（7）（8）组成的干涉组件的镜筒上。
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