[实用新型]磁阻传感器无效
| 申请号: | 89207233.4 | 申请日: | 1989-05-22 |
| 公开(公告)号: | CN2052891U | 公开(公告)日: | 1990-02-14 |
| 发明(设计)人: | 王元玮;于朴;田跃 | 申请(专利权)人: | 王元玮;于朴;田跃 |
| 主分类号: | G01D5/12 | 分类号: | G01D5/12 |
| 代理公司: | 小松专利事务所 | 代理人: | 陈祚龄 |
| 地址: | 北京市西城*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 磁阻 传感器 | ||
1、一种磁阻传感器,由基片(1)、磁阻片(2)、引线(3、3′)组成,其特征在于:基片(1)可用陶瓷、铁氧体、氧化铝或塑料经抛磨而成,磁阻片(2)采用磁阻材料薄片粘接在磨平的基片(1)上,光刻成谜宫式形状。
2、如权利要求1所述的磁阻传感器,其特征在于:所说的磁阻片(2)适用InSb-NiSb功能复合磁阻材料,采用定向结晶法,制成NiSb纤维在InSb半导体基体中单向平行排列的组织,也可以采用高纯的InSb材料基片用镀膜法,镀上一层高导电率的金属,然后光刻成短路条,光刻要求NiSb的纤维(4)与电流通过的方向垂直。
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