[其他]多源型平面磁控溅射源

权利要求书

1、一种由磁场源、阴极靶、水冷器以及屏蔽罩等组成的多源型平面磁控溅射源，其特征在于该溅射源含有一个由静止的外磁组件和一个或多个可作旋转运动的内磁组件[6]组成的磁场源，一个由若干个异质扇形小靶拼成的圆形平面阴极靶[8]，一个布置在阴极靶[8]上方、开有一个或若干个扇形孔、能与内磁组件[6]作同步运动的挡板[25]，以及一个优先冷却阴极靶[8]溅射区的水冷器。

2、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于所述的磁场源其外磁组件固定在水冷器的外胆〔1〕的外侧，其内磁组件〔6〕布置在处于水冷器的水腔〔Ⅲ〕中的转盘〔13〕上。

3、按照权利要求1和2所述的磁控溅射源，其特征在于所述的外磁组件由一个环形的下极靴〔2〕、一个环形的上极靴〔4〕、一个布置在上极靴〔4〕和下极靴〔2〕之间的圆环形磁体〔3〕，以及一个为使磁力线从上极靴〔4〕的内边缘充分饱和泄漏的反向磁体〔5〕构成。

4、按照权利要求1和2所述的磁控溅射源，其特征在于所述的内磁组件〔6〕由一个固定在转盘〔13〕上的扇形极靴〔ⅰ〕和布置在扇形极靴〔ⅰ〕上的V字形磁体〔ⅱ〕以及位于V字形磁体〔ⅱ〕内侧的扇形磁体〔ⅲ〕组成，扇形磁体〔ⅲ〕的极性与V字形磁体〔ⅱ〕、圆环形磁体〔3〕相反。

5、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于所述的阴极靶〔8〕由若干个不同材质、不同张角、相间布置的扇形小靶拼砌而成，为使阴极靶〔8〕同水冷背板〔7〕相互压紧将螺钉〔9〕和连接压环〔11〕、上极靴〔4〕、外胆〔1〕的若干个螺钉拧紧。

6、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于所述的挡板〔25〕由传动齿轮〔24〕和带卡簧的从动齿轮〔26〕、〔27〕夹持，位于靶面上方4～6mm处。

7、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于水冷器的冷却水自进水管〔15〕引入，经转轴〔12〕的中心深孔、水腔〔Ⅰ〕进入水腔〔Ⅱ〕，从内磁组件〔6〕的顶部溢出到水腔〔Ⅲ〕，由铜质出水管〔16〕引出。

8、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于沉积合金膜时，令内磁组件〔6〕和挡板〔25〕在预定的时间内作同步旋转。

9、按照权利要求1所述的磁控溅射源，其特征在于沉积多层膜时，令内磁组件〔6〕于各预定的时间内先后在不同扇形小靶的底部作来回摆动。