[实用新型]一种扫描离子电导显微镜系统

权利要求书

1.一种扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，包括采集运动系统、控制运算系统、显示操作系统、导轨支架系统以及外壳系统；

采集运动系统、控制运算系统以及显示操作系统之间互相电连接，控制运算系统设置在导轨支架系统的上方，采集运动系统与导轨支架系统的上部连接，显示操作系统设置在导轨支架系统的一侧；

采集运动系统、控制运算系统、显示操作系统以及导轨支架系统都安装在外壳系统的内部；

导轨支架系统包括导轨和滑动托盘，滑动托盘连接在导轨之间，滑动托盘上部连接有采集运动系统，滑动托盘能够带动采集运动系统在导轨上滑动。

2.根据权利要求1所述的扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，外壳系统由金属制成，构成第一法拉第笼。

3.根据权利要求1所述的扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，采集运动系统包括采集探针组件、压电部件、PCBA、屏蔽罩以及外框部件，采集探针组件与PCBA电连接，压电部件与PCBA电连接，PCBA设置在屏蔽罩的内部，压电部件、采集探针组件、PCBA和屏蔽罩都安装在外框部件的内部。

4.根据权利要求3所述的扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，所述外框部件由金属制成，构成第二法拉第笼。

5.根据权利要求1所述的扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，控制运算系统包括控制部件、运算部件、电源部件、电流放大器部件以及箱体，控制部件、运算部件、电源部件以及电流放大器部件之间互相电连接，控制部件、运算部件、电源部件和电流放大器部件位于箱体内部。

6.根据权利要求5所述的扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，所述箱体的侧面设置有端子板。

7.根据权利要求5-6任一项所述的扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，所述箱体由金属制成，构成第三法拉第笼。

8.根据权利要求1所述的扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，显示操作系统包括触控一体机、安装架以及固定架，触控一体机设置在固定架的开口中，固定架的一侧与安装架连接，固定架的上部与外壳系统连接。

9.根据权利要求1所述的扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，外壳系统包括第一外壳和第二外壳，第一外壳与第二外壳连接，内部形成腔体。

10.根据权利要求1所述的扫描离子电导显微镜系统，其特征在于，滑动托盘上设置有开口。