[实用新型]一种带有挡板的蒸发镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种带有挡板的蒸发镀膜设备，涉及蒸发镀膜设备技术领域；而本实用新型包括蒸发镀膜设备主体，蒸发镀膜设备主体的内部设置有挡板本体，挡板本体的一侧设置有电机，挡板本体的两侧均设置有螺杆，螺杆的一端固定连接有第二皮带轮，螺杆的侧壁螺纹套设有滑块，滑块的顶面固定连接有立板，立板的侧壁转动连接有第一凸轴，第一凸轴远离立板的一端与挡板本体的侧壁相固定，螺杆的一侧设置有活动架，活动架的一端与挡板本体转动连接，活动架的另一端设置有固定座，固定座的底面与蒸发镀膜设备主体的内壁相连接；本实用新型可以对挡板本体的遮挡位置以及遮挡角度进行调整，从而使得蒸镀适应场景更加广泛。

技术领域

本实用新型涉及蒸发镀膜设备技术领域，具体为一种带有挡板的蒸发镀膜设备。

背景技术

蒸发镀膜是用于半导体制造领域的一种常见的镀膜沉积工艺。蒸发镀膜设备在进行使用时，需要使用到挡板，挡板能够改善蒸发速率在不同角度的渐变性，提高蒸发镀膜的均匀性，而现有的挡板不能对遮挡位置以及角度进行调整，从而导致蒸镀适应场景有限，针对上述问题，发明人提出一种带有挡板的蒸发镀膜设备用于解决上述问题。

实用新型内容

为了解决现有的挡板不能对遮挡位置以及角度进行调整，从而导致蒸镀适应场景有限的问题；本实用新型的目的在于提供一种带有挡板的蒸发镀膜设备。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种带有挡板的蒸发镀膜设备，包括蒸发镀膜设备主体，蒸发镀膜设备主体的内部设置有挡板本体，挡板本体的一侧设置有电机，启动电机，转轴在电机的作用下带动第一皮带轮进行转动，进而同步带可以带动第二皮带轮进行转动，通过基座可以对电机进行支撑固定，以便对电机进行安装，挡板本体的两侧均设置有螺杆，螺杆的侧壁转动连接有轴承座，轴承座的底面与挡板本体的内壁相连接，轴承座用于对螺杆进行支撑限位，第二皮带轮在进行转动时会带动螺杆进行转动，通过螺杆与滑块内螺纹孔的相互配合，从而可以使得滑块带动挡板本体进行移动，螺杆的一端固定连接有第二皮带轮，螺杆的侧壁螺纹套设有滑块，滑块的数量有两个且对称位于挡板本体的两侧，滑块的侧壁贯穿设置有螺纹孔，螺杆与螺纹孔相配合，滑块的顶面固定连接有立板，立板的侧壁转动连接有第一凸轴，第一凸轴远离立板的一端与挡板本体的侧壁相固定，螺杆的一侧设置有活动架，活动架的一端与挡板本体转动连接，活动架的另一端设置有固定座，固定座的底面与蒸发镀膜设备主体的内壁相连接。

优选地，电机的一端延伸至有转轴，转轴远离电机的一端固定连接有第一皮带轮，第一皮带轮的侧壁设置有同步带，同步带远离第一皮带轮的一端与第二皮带轮相配合，启动电机，转轴在电机的作用下带动第一皮带轮进行转动，进而同步带可以带动第二皮带轮进行转动。

优选地，活动架为L型，活动架的数量有两个且对称位于挡板本体的两侧，当滑块进行移动时，在活动架的作用下可以使得挡板本体进行角度调整，以使得蒸镀适应场景更加广泛。

优选地，固定座的侧壁固定连接有第二凸轴，第二凸轴远离固定座的一端与活动架转动连接，通过第二凸轴可以使得活动架与固定座转动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：可以对挡板本体的遮挡位置以及遮挡角度进行调整，启动电机，在同步带的带动下可以使得第二皮带轮进行转动，转动的第二皮带轮会带动螺杆进行转动，通过螺杆与滑块内螺纹孔的相互配合，从而可以使得滑块带动挡板本体进行移动，且当滑块进行移动时，在活动架的作用下可以使得挡板本体进行角度调整，以使得蒸镀适应场景更加广泛。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型整体结构示意图。

图2为本实用新型挡板结构示意图。