[实用新型]晶圆检测设备真空管

权利要求书

1.一种晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，包括：

第一连接管段(10)，其具有第一连接端(100)和第二连接端(101)，所述第一连接端(100)连接于真空阀(2)；

第二连接管段(11)，其具有第三连接端(110)和第四连接端(111)，所述第三连接端(110)连接于晶圆载台(3)；以及

弯折替换件(12)，其包括第一端(120)和第二端(121)，所述第一端(120)活动连接于所述第二连接端(101)，所述第二端(121)活动连接于所述第四连接端(111)，所述弯折替换件(12)用于承受所述晶圆检测设备真空管(1)在运动过程中产生的弯矩。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)为管道，所述第一端(120)和所述第二连接端(101)连通，所述第二端(121)和所述第四连接端(111)连通。

3.根据权利要求2所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，还包括第一快插接头(13)，其一端与所述第一端(120)活动连接，所述第一快插接头(13)的另一端与所述第二连接端(101)连接。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述第一快插接头(13)包括第一卡扣(130)、第二卡扣(131)和第一管件(132)，所述第一卡扣(130)设置于所述第一管件(132)的一端，所述第一卡扣(130)与所述第一端(120)活动连接，所述第二卡扣(131)设置于所述第一管件(132)的另一端，所述第二卡扣(131)和所述第二连接端(101)连接。

5.根据权利要求2所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，还包括第二快插接头(14)，其一端和所述第二端(121)活动连接，所述第二快插接头(14)的另一端与所述第四连接端(111)连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述第二快插接头(14)包括第三卡扣(140)、第四卡扣(141)和第二管件(142)，所述第三卡扣(140)设置于所述第二管件(142)的一端，所述第三卡扣(140)与所述第二端(121)活动连接，所述第四卡扣(141)设置于所述第二管件(142)的另一端，所述第四卡扣(141)和所述第四连接端(111)连接。

7.根据权利要求2-6任一项所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)为PUR管。

8.根据权利要求1所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)为套管，在所述第二连接端(101)和所述第四连接端(111)之间设置有弯折管段(12a)，所述弯折管段(12a)的一端和所述第一连接管段(10)连通，所述弯折管段(12a)的另一端和所述第二连接管段(11)连通，所述弯折替换件(12)套设于所述弯折管段(12a)。

9.根据权利要求8所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)为橡胶管。

10.根据权利要求8所述的晶圆检测设备真空管(1)，其特征在于，所述弯折替换件(12)通过箍接的方式连接在第二连接端(101)和第四连接端(111)上。