[实用新型]一种快速标定氧气敏感探针响应曲线的高通量芯片

权利要求书

1.一种快速标定氧气敏感探针响应曲线的高通量芯片，它采用上芯块（1）通过键合膜（2）与下芯块（3）连接，下芯块（3）固定在玻璃片（4）上；其特征在于：所述下芯块（3）中设置测试模块（5），测试模块（5）的两侧分别设置第一氧气通道（6）和第二氧气通道（7），测试模块（5）的一端通过进样通道（10）连通测试模块入口（8），另一端通过出样通道（11）连接测试模块出口（9）；

所述测试模块（5）采用测试通道（5a）的两侧对称设置测试腔室（5b），测试腔室（5b）通过腔室通道（5c）连通测试通道（5a）；

测试腔室（5b）按列均布在第一氧气通道（6）和第二氧气通道（7）之间。

2.根据权利要求1所述的一种快速标定氧气敏感探针响应曲线的高通量芯片，其特征在于：该芯片中设置3-10组的测试模块（5）。

3.根据权利要求1所述的一种快速标定氧气敏感探针响应曲线的高通量芯片，其特征在于：一组测试模块（5）中设置10-50个测试腔室（5b）。

4.根据权利要求1所述的一种快速标定氧气敏感探针响应曲线的高通量芯片，其特征在于：所述第一氧气通道（6）的高度是测试通道（5a）高度的两倍以上。