[实用新型]一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置有效
| 申请号: | 202220411723.0 | 申请日: | 2022-02-28 |
| 公开(公告)号: | CN216972652U | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
| 发明(设计)人: | 徐从康;贺涛 | 申请(专利权)人: | 浙江弘康半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/24 |
| 代理公司: | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人: | 龙俊宇 |
| 地址: | 312000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 可控 真空 镀铝 均匀 氧气 装置 | ||
本实用新型公开了一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,通过氧气瓶提供氧气,包括转接头、内管、外管,其中转接头的一侧连接有储气管,储气管分别通过轴承连接外管和内管,外管包绕于内管外,所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二,并由轴一和轴二单独带动驱动,所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小。本方案通过气泵输出的恒定气压,经转接头进入储气管传而导至内管内,氧气通过内管放气孔进入外管,再通过外管的放气孔进入镀膜区域,同时内管与外管均可通过驱动转动,内管与外管放气孔的转动配合以及针阀来调节通入氧气的流量,并通过外管的旋转来调整氧气通入的位置与角度,以此来调节通入氧气分布的均匀性。
技术领域
本实用新型涉及膜生产设备技术领域,具体为一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置。
背景技术
高阻隔膜主要是指能够对气体(氧气、水气等)具有高阻隔性能的薄膜。通过真空镀膜技术制备的高阻隔膜主要可分为金属膜和陶瓷膜,其中陶瓷膜近年来发展迅速,最大的优势在于消费者可以透过陶瓷膜看到商品,并且在整个包装过程中对商品不会产生金属污染。陶瓷膜中,使用的最多的是氧化铝与氧化硅薄膜。与氧化硅薄膜相比,氧化铝薄膜不仅在较薄时柔韧性比较好,而且无色透明、阻隔性能好。
氧化铝阻隔膜目前采用的生产方法主要有:电子束蒸发、化学气相沉积、磁控溅射、热蒸发镀铝通氧气等方法,其中电子束蒸发、化学气相沉积等是设备价格昂贵,而且镀料(Al2O3)价格高;磁控溅射生产效率低。
真空镀铝机设备价格低、生产效率高,但是如果直接通入氧气会存在氧气分布不均匀、产品性能稳定性差、阻隔性能差等问题。
为了解决上述问题,本案由此而生。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,解决了上述背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,通过氧气瓶提供氧气,包括转接头、内管、外管,其中转接头的一侧连接有储气管,储气管分别通过轴承连接外管和内管,其中外管包绕于内管外,所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二,并由轴一和轴二单独带动驱动,所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小,外管的转动以调整通入氧气的角度,并可通过与内管配合以控制氧气的流量大小。
优选的,所述内管与转接头对应端部的管口处均设置有尺寸相同半圆形的密封盖,两个半圆形的密封盖合并形成整个圆,并与内管与转接头端部的管口口径相同。
优选的,所述轴承包括轴承一、轴承二、轴承三、轴承四,所述外管通过分别设于两侧的轴承一与轴承三配合以对应旋转,内管通过轴承二与轴承四配合以对应旋转。
优选的,所述内管与外管上均沿其长度方向阵列有通孔。
优选的,所述内管、外观、储气管均采用无缝钢管,采用牌号为0Cr18Ni9。
(三)有益效果
采用上述技术方案后,本实用新型与现有技术相比,具备以下优点:本实用新型一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,通过气泵输出的恒定气压,经转接头进入储气管传而导至内管内,氧气通过内管放气孔进入外管,再通过外管的放气孔进入镀膜区域,同时内管与外管均可通过驱动转动,内管与外管放气孔的转动配合以及针阀来调节通入氧气的流量,并通过外管的旋转来调整氧气通入的位置与角度,以此来调节通入氧气分布的均匀性。
附图说明
图1为本实用新型安装位置整体示意图;
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