[实用新型]一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置有效

专利信息
申请号: 202220411723.0 申请日: 2022-02-28
公开(公告)号: CN216972652U 公开(公告)日: 2022-07-15
发明(设计)人: 徐从康;贺涛 申请(专利权)人: 浙江弘康半导体技术股份有限公司
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08;C23C14/24
代理公司: 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 代理人: 龙俊宇
地址: 312000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 可控 真空 镀铝 均匀 氧气 装置
【权利要求书】:

1.一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,通过氧气瓶提供氧气,其特征在于:包括转接头、内管、外管,其中转接头的一侧连接有储气管,储气管分别通过轴承连接外管和内管,其中外管包绕于内管外,所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二,并由轴一和轴二单独带动驱动,所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小,外管的转动以调整通入氧气的角度,并可通过与内管配合以控制氧气的流量大小。

2.根据权利要求1所述的一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,其特征在于:所述内管与转接头对应端部的管口处均设置有尺寸相同半圆形的密封盖,两个半圆形的密封盖合并形成整个圆,并与内管与转接头端部的管口口径相同。

3.根据权利要求1所述的一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,其特征在于:所述轴承包括轴承一、轴承二、轴承三、轴承四,所述外管通过分别设于两侧的轴承一与轴承三配合以对应旋转,内管通过轴承二与轴承四配合以对应旋转。

4.根据权利要求1所述的一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,其特征在于:所述内管与外管上均沿其长度方向开设有一排间隔布置的通孔。

5.根据权利要求1所述的一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置,其特征在于:所述内管、外观、储气管均采用无缝钢管,采用牌号为0Cr18Ni9

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