[实用新型]一种互连结构有效
| 申请号： | 202220354026.6 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN217239455U | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | B·P·沃兹;A·M·贝利斯;O·R·费伊 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | H01L23/538 | 分类号： | H01L23/538 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 互连 结构 | ||
1.一种互连结构，其特征在于，所述互连结构包含：
着陆区；
导电柱，其安置在所述着陆区上且经配置以电耦合或热耦合至所述着陆区，所述导电柱包括：
顶部，其具有第一宽度；以及
第一部分，其低于所述顶部且具有第二宽度，其中所述第一宽度从横截面角度看去大于所述第二宽度。
2.根据权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述第一宽度为所述第二宽度的1.5倍至2.5倍。
3.根据权利要求1所述的互连结构，其特征在于，其中与所述顶部和低于所述顶部的所述第一部分相连接的所述导电柱的侧表面包括凹形轮廓。
4.根据权利要求1所述的互连结构，其特征在于，所述导电柱进一步包含与所述着陆区的电介质相接触的底部，所述底部具有第三宽度，其中所述第三宽度大于所述第二宽度。
5.根据权利要求4所述的互连结构，其特征在于，所述第三宽度为所述第二宽度的1.5倍至2.5倍。
6.根据权利要求5所述的互连结构，其特征在于，其中与所述顶部、低于所述顶部的所述第一部分以及所述底部相连接的所述导电柱的侧表面包括凹形轮廓。
7.根据权利要求4所述的互连结构，其特征在于，进一步包括第二部分，所述第二部分低于所述顶部且具有大于所述第二宽度的第四宽度。
8.根据权利要求7所述的互连结构，其特征在于，其中所述第二部分与所述顶部相连接或与所述底部相连接。
9.根据权利要求4所述的互连结构，其特征在于，进一步包括种子层，所述种子层位于所述导电柱的所述底部与所述着陆区的所述电介质之间。
10.根据权利要求1所述的互连结构，其特征在于，进一步包括设置在所述导电柱的所述顶部的焊料。
11.根据权利要求10所述的互连结构，其特征在于，其中所述焊料不接触所述导电柱的侧表面。
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