[实用新型]一种用于定位物体的移动机构和固晶摆臂

权利要求书

1.一种用于定位物体的移动机构，其特征在于：包括第一驱动装置、载物平台、第二驱动装置和第三驱动装置，所述第一驱动装置包括第一动子和第一定子，所述第一动子能相对所述第一定子沿第一方向移动，所述第一动子和所述第一定子均与所述第二驱动装置连接，所述第二驱动装置驱动所述第一动子和所述第一定子沿第二方向移动，所述第三驱动装置驱动所述第一动子沿第三方向移动，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两相交；

所述载物平台与所述第一动子连接。

2.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于：

第一方向、第二方向和第三方向相互垂直，或者，第一方向与第二方向垂直，且第一方向与第三方向垂直。

3.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于：

在第二方向上，所述第一动子和所述第一定子同步移动，所述第一动子与所述第一定子之间设置有预设距离，所述第一动子在第二方向上的移动距离大于或等于所述预设距离。

4.根据权利要求3所述的移动机构，其特征在于：

所述第一定子沿第一方向延伸，所述第一动子至少一端与所述第一定子相邻设置。

5.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于：

所述第二驱动装置包括第二动子和第二定子，所述第二定子沿第二方向延伸，所述第二动子至少一端与所述第二定子相邻布置,所述第二动子能相对所述第二定子沿第二方向移动。

6.根据权利要求5所述的移动机构，其特征在于：

所述第二驱动装置在所述第二动子的一端设置有第一支架和第二支架，所述第一支架与所述第一定子固连，所述第二支架驱动所述第一动子沿第二方向移动。

7.根据权利要求6所述的移动机构，其特征在于：

所述第三驱动装置包括第三动子和第三定子，所述第三定子沿第三方向延伸，所述第三动子至少一端与所述第三定子相邻布置，所述第三动子能相对所述第三定子沿第三方向移动。

8.根据权利要求7所述的移动机构，其特征在于：

所述第一驱动装置在所述第一动子的一端连接有第一移动架；

所述第三驱动装置在所述第三动子的一端连接有第二移动架，所述第一移动架沿第一方向滑动地连接在所述第二移动架上，所述第二支架沿第三方向滑动地连接在所述第二移动架上。

9.根据权利要求8所述的移动机构，其特征在于：

所述第二驱动装置和所述第一定子之间还设置有第一导向固定架，所述第一导向固定架沿第二方向延伸，所述第一支架与所述第一导向固定架滑动连接；

所述第二驱动装置和所述第二移动架之间还设置有第二导向固定架，所述第二导向固定架沿第二方向延伸，所述第二支架与所述第二导向固定架滑动连接。

10.根据权利要求6所述的移动机构，其特征在于：

所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均设置在所述第一驱动装置的同一侧，所述第三驱动装置设置在所述第一支架和所述第二支架之间，或者，所述第三驱动装置设置在所述第一支架和所述第二支架的同一侧。

11.固晶摆臂，其特征在于：包括旋转臂、取晶片组件和上述权利要求1至10任一项所述的移动机构，所述移动机构设置在所述旋转臂上，所述取晶片组件设置在所述移动机构的载物平台上。