[发明专利]一种光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法在审
| 申请号： | 202211741730.8 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116046941A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 傅志伟;胡明华;张锁慧;李宁;潘新刚 | 申请（专利权）人： | 徐州博康信息化学品有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/06;G01N30/34;G01N30/86 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 陶柳涛 |
| 地址： | 221003 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 树脂 残余 单体 含量 测试 方法 | ||
1.一种光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法，其特征在于，所述测试方法包括以下步骤：
a1)配置至少3组不同浓度的光刻胶树脂单体的标准溶液；
a2)采用有机溶剂对光刻胶树脂样品中残余单体进行萃取，得到样品溶液；
a3)采用高效液相色谱法分别测定标准溶液和样品溶液，测定得单体的峰面积；
所述高效液相色谱法的检测条件为：
检测波长：225nm波长；
流动相：乙腈：四氢呋喃：水＝75：10：15；
流速：1.0mL/min；
进样体积：5μL；
柱温：20～30℃；
色谱柱：C18柱；
a4)测试标准溶液，绘制浓度—峰面积标准曲线；测试样品溶液，峰面积代入相对应的单体标准曲线计算得样品中光刻胶树脂中残余单体含量。
2.根据权利要求1所述的光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法，其特征在于，所述a1)步骤中标准溶液中是采用流动相为溶剂；
所述流动相为乙腈：四氢呋喃：水＝75：10：15。
3.根据权利要求1所述的光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法，其特征在于，所述a2)步骤的具体步骤为：采用四氢呋喃、甲苯、正庚烷溶剂体系对光刻胶树脂样品进行萃取，得到样品溶液。
4.根据权利要求1所述的光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法，其特征在于，a3)步骤检测条件还包括以下技术特征中至少一种：
a31)色谱柱：Welch Ultimate AQ-C18(5μm，4.6×250mm)；
a32)等度洗脱：30min。
5.根据权利要求1所述的光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法，其特征在于，所述测试方法可同时测试光刻胶树脂中以下四种残余单体含量：
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