[发明专利]带电粒子束装置及其控制方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，包括：

粒子源，用于释放带电粒子束；

显微镜柱，包括：

物镜，用于对所述带电粒子束进行聚焦；

成像系统，用于拍摄样品，以获得所述样品表面的高度信息以及平面信息；

运动台，用于承载并带动所述样品运动；

控制单元，响应于所述运动台带动样品运动，以根据所述样品表面的高度信息以及平面信息，补偿所述物镜的焦距和/或控制所述样品与所述显微镜柱之间的距离。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，还包括三维建模单元，所述运动台能够带动样品旋转，以通过所述成像系统拍摄不同旋转角度时样品的高度信息，所述三维建模单元根据所述平面信息和不同旋转角度时的高度信息建立样品的三维模型，所述控制单元根据所述三维模型补偿所述焦距和/或控制所述距离以实现防撞。

3.根据权利要求1或2所述的带电粒子束装置，其特征在于，所述显微镜柱包括位于所述物镜和样品之间的部件，所述控制单元响应于使用所述运动台带动样品运动，以根据所述高度信息以及平面信息控制所述样品与部件之间的距离以实现防撞。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，所述部件包括偏转器、减速电极、信号电子吸引电极、焦距补偿电极和光学反射镜中的一个或多个。

5.根据权利要求3所述的带电粒子束装置，其特征在于，所述控制单元获取所述部件的最低位置的坐标信息，并根据所述坐标信息、高度信息以及平面信息控制所述距离。

6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，所述显微镜柱的数量为至少两个，所述控制单元获取至少两个所述显微镜柱的最低位置的坐标信息，并根据所述坐标信息、高度信息以及平面信息控制所述距离。

7.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，所述显微镜柱还包括焦距补偿电极，所述焦距补偿电极设置在物镜和样品之间，所述控制单元控制所述物镜或焦距补偿电极的工作参数以补偿所述物镜的焦距。

8.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，所述成像系统包括：

第一成像单元，用于拍摄所述样品的侧面，以获得所述样品表面的高度信息；

第二成像单元，用于拍摄所述样品的表面，以获得所述样品表面的平面信息；以及

真空腔体，所述第一成像单元安装于所述真空腔体的侧壁，所述第二成像单元安装于所述真空腔体的顶壁；

其中，所述运动台为五轴运动台；所述控制单元根据所述高度信息以及平面信息控制所述运动台停止。

9.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，所述控制单元响应于所述运动台带动样品运动，以根据所述高度信息、平面信息、运动前的焦距以及高度焦距关系表补偿所述物镜的焦距。

10.一种带电粒子束装置的控制方法，应用于如权利要求1-9中任一项所述的带电粒子束装置，其特征在于，包括：

调整所述样品的位置，供所述成像系统拍摄所述样品，以获得所述样品表面的高度信息以及平面信息；

所述控制单元根据所述样品表面的高度信息以及平面信息，补偿所述物镜的焦距和/或控制所述样品与所述显微镜柱之间的距离。