[发明专利]基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置，其特征在于，包括，

流体口封堵结构，用于封堵微流道换热器的流体进口和流体出口；

真空泵，用于将微流道换热器内的流体腔室抽真空，所述真空泵与一流体进口或流体出口密封连通；

供气回路，用于向微流道换热器内充入测漏气体；所述供气回路的出口和所述真空泵与同一流体进口或流体出口密封连通；

测漏结构，用于对微流道换热器的检测面进行检测，包括能移动且能密封罩扣于检测面上的密封罩结构，所述密封罩结构上连通检漏仪，所述检漏仪用于测量记录气体泄漏量。

2.如权利要求1所述的基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置，其特征在于，所述密封罩结构包括多个罩扣面积相异的密封罩。

3.如权利要求2所述的基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置，其特征在于，所述密封罩通过第三管路连通所述检漏仪，所述第三管路的入口与所述密封罩呈能密封且能拆卸地连通，所述第三管路上设置抽吸泵。

4.如权利要求3所述的基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置，其特征在于，所述第三管路上设置第三控制阀。

5.如权利要求1所述的基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置，其特征在于，所述供气回路包括供气瓶组，所述供气瓶组的出口通过第一管路连通一流体进口，所述第一管路上设置第一控制阀。

6.如权利要求5所述的基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置，其特征在于，所述供气瓶组包括氦气气瓶和氮气气瓶，所述氦气气瓶和所述氮气气瓶的出口连通设置气体混合阀，所述气体混合阀的出口连通所述第一管路。

7.如权利要求5所述的基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置，其特征在于，所述真空泵通过第二管路连通所述第一管路，所述第二管路上设置第二控制阀。

8.如权利要求1所述的基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置，其特征在于，所述流体口封堵结构包括密封管箱和密封法兰。

9.一种检测方法，其特征在于，使用如权利要求1至8任一项所述的基于氦质谱的微流道换热器泄漏检测装置对微流道换热器进行泄漏检测。

10.如权利要求9所述的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤a、一流体进口密封连通供气回路及真空泵；使用流体口封堵结构封堵其余的流体进口和流体出口；

步骤b、开启真空泵，对微流道换热器内一流体腔室抽真空；开启供气回路，对该流体腔室充入气体；

步骤c、微流道换热器内压力稳定后，检漏仪上密封连通一大罩扣面积的密封罩，使用该密封罩对微流道换热器的检测面进行检测，检漏仪测量记录气体泄漏量；

步骤d、对气体泄漏量高于设定值的区域，更换小罩扣面积的密封罩，使用该密封罩对区域内的流道进行检测，确定漏点并对其封堵。