[发明专利]一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺在审

专利信息
申请号: 202211360190.9 申请日: 2022-11-02
公开(公告)号: CN115533666A 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 郑嵩 申请(专利权)人: 菲特晶(南京)电子有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B41/06;B24B55/00;B24B55/06;B24B47/12;B24B47/22;B08B1/02
代理公司: 南京汇业佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32708 代理人: 朱军
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 晶片 装置 及其 工艺
【说明书】:

发明公开了一种石英晶片圆边装置,包括:主体单元,其包括支撑板以及对称设置在支撑板两侧壁两端的侧板,所述支撑板下侧壁固定连接有位置对称的支撑架,其中一个所述侧板固定安装有驱动电机,所述驱动电机输出轴固定连接有第一压盘,另一个所述侧板转动连接有空心筒,所述空心筒靠近驱动电机输出轴的一端设置有与第一压盘对应的第二压盘,两个所述压盘之间共同压紧有石英晶片,所述石英晶片正上方设置有匹配的圆边辊。本发明通过对石英片边缘处打磨较为均匀,且打磨效率较高,打磨后石英晶片在经过清洗罩的时候,实现对石英晶片的清洗,集打磨清洗于一体,简化了工艺,缩减了来回转运石英晶片所需要的时间。

技术领域

本发明涉及石英晶片加工设备技术领域,尤其涉及一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺。

背景技术

石英晶体的化学成分为SiO2,晶体属三方晶系的氧化物矿物,即低温石英,石英晶体是用量仅次于单晶硅的电子材料,用于制造选择和控制频率的电子元器件,广泛应用于电子信息产业各领域,尤其在高性能电子设备及数字化设备中应用日益扩大,低腐蚀隧道密度压电晶体是生产SMD频率片、手机频率片的必需材料。

在石英晶体加工成石英晶片的同时需要对石英晶片圆边处进行圆边打磨处理,现有技术中在对石英晶片进行打磨的过程中普遍采用人工打磨的方式进行打磨,该种打磨方式打磨效率低,容易导致石英晶片边缘处打磨不够均匀,导致石英晶片后续使用效果不理性。

发明内容

本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊,而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。

鉴于上述现有一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺存在的问题,提出了本发明。

因此,本发明目的是提供一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺,其适用于解决打磨效率低,容易导致石英晶片边缘处打磨不够均匀,导致石英晶片后续使用效果不理性的问题。

为解决上述技术问题,本发明提供如下技术方案:一种石英晶片圆边装置,包括:

主体单元,其包括支撑板以及对称设置在支撑板两侧壁两端的侧板,所述支撑板下侧壁固定连接有位置对称的支撑架,其中一个所述侧板固定安装有驱动电机,所述驱动电机输出轴固定连接有第一压盘,另一个所述侧板转动连接有空心筒,所述空心筒靠近驱动电机输出轴的一端设置有与第一压盘对应的第二压盘,两个所述压盘之间共同压紧有石英晶片,所述石英晶片正上方设置有匹配的圆边辊;

伸出调节单元,其包括与空心筒侧壁转动连接的调节杆以及与空心筒两端内壁转动连接有丝杆,所述调节杆向内贯穿空心筒侧壁固定连接有第一斜齿轮,且丝杆上固定套设有与第一斜齿轮啮合的第二斜齿轮,所述丝杆上螺纹连接有移动块,所述移动块远离第二斜齿轮的一侧固定连接有位置对称的伸出杆,多组所述伸出杆向外贯穿空心筒端壁与第二压盘固定连接。

作为本发明所述一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺的一种优选方案,其中:所述圆边装置还包括高度调节单元,其包括与对应侧板上侧壁转动连接的螺纹杆,且侧板外侧壁开设有与螺纹杆匹配的条型开口,所述螺纹杆上螺纹连接有升降套,所述升降套与条型开口竖直滑动连接,且升降套远离侧板的一侧固定连接有对应的折弯杆,两组所述折弯杆均与圆边辊相抵。

作为本发明所述一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺的一种优选方案,其中:所述升降套与条型开口通过多组位置对称的限位滑块和限位滑槽竖直滑动连接,且每个折弯杆远离升降套的一端固定连接有对应的压片。

作为本发明所述一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺的一种优选方案,其中:所述圆边装置还包括清洁单元,其包括与支撑板下侧壁的竖直杆以及与竖直杆竖直滑动连接的竖直滑套,所述竖直滑套上竖直滑动连接有对应的定位螺栓,且竖直滑套侧壁通过连接柱固定连接有支撑臂,所述支撑臂顶端固定连接有对应的清洗罩,所述支撑板中心处开设有与清洗罩匹配的矩形开口。

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