[发明专利]一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺在审

专利信息
申请号: 202211360190.9 申请日: 2022-11-02
公开(公告)号: CN115533666A 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 郑嵩 申请(专利权)人: 菲特晶(南京)电子有限公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B41/06;B24B55/00;B24B55/06;B24B47/12;B24B47/22;B08B1/02
代理公司: 南京汇业佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32708 代理人: 朱军
地址: 210000 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 石英 晶片 装置 及其 工艺
【权利要求书】:

1.一种石英晶片圆边装置,其特征在于,包括:

主体单元(100),其包括支撑板(101)以及对称设置在支撑板(101)两侧壁两端的侧板(102),所述支撑板(101)下侧壁固定连接有位置对称的支撑架,其中一个所述侧板(102)固定安装有驱动电机(103),所述驱动电机(103)输出轴固定连接有第一压盘(104),另一个所述侧板(102)转动连接有空心筒(105),所述空心筒(105)靠近驱动电机(103)输出轴的一端设置有与第一压盘(104)对应的第二压盘(106),两个所述压盘之间共同压紧有石英晶片,所述石英晶片正上方设置有匹配的圆边辊(107);

伸出调节单元(200),其包括与空心筒(105)侧壁转动连接的调节杆(201)以及与空心筒(105)两端内壁转动连接有丝杆(203),所述调节杆(201)向内贯穿空心筒(105)侧壁固定连接有第一斜齿轮(204),且丝杆(203)上固定套设有与第一斜齿轮(204)啮合的第二斜齿轮(205),所述丝杆(203)上螺纹连接有移动块(206),所述移动块(206)远离第二斜齿轮(205)的一侧固定连接有位置对称的伸出杆(202),多组所述伸出杆(202)向外贯穿空心筒(105)端壁与第二压盘(106)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶片圆边装置,其特征在于:所述圆边装置还包括高度调节单元(300),其包括与对应侧板(102)上侧壁转动连接的螺纹杆(301),且侧板(102)外侧壁开设有与螺纹杆(301)匹配的条型开口,所述螺纹杆(301)上螺纹连接有升降套(302),所述升降套(302)与条型开口竖直滑动连接,且升降套(302)远离侧板(102)的一侧固定连接有对应的折弯杆(303),两组所述折弯杆(303)均与圆边辊(107)相抵。

3.根据权利要求2所述的一种石英晶片圆边装置,其特征在于:所述升降套(302)与条型开口通过多组位置对称的限位滑块(304)和限位滑槽竖直滑动连接,且每个折弯杆(303)远离升降套(302)的一端固定连接有对应的压片(305)。

4.根据权利要求1所述的一种石英晶片圆边装置,其特征在于:所述圆边装置还包括清洁单元(400),其包括与支撑板(101)下侧壁的竖直杆(401)以及与竖直杆(401)竖直滑动连接的竖直滑套(402),所述竖直滑套(402)上竖直滑动连接有对应的定位螺栓(403),且竖直滑套(402)侧壁通过连接柱固定连接有支撑臂(404),所述支撑臂(404)顶端固定连接有对应的清洗罩(405),所述支撑板(101)中心处开设有与清洗罩(405)匹配的矩形开口。

5.根据权利要求4所述的一种石英晶片圆边装置,其特征在于:所述清洗罩(405)设置成弧形,且清洗罩(405)与支撑板(101)竖直滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种石英晶片圆边装置,其特征在于:所述丝杆(203)上固定套设有隔片(207),所述隔片(207)位于第二斜齿轮(205)与移动块(206)之间。

7.根据权利要求4所述的一种石英晶片圆边装置,其特征在于:所述清洗罩(405)上侧壁两端铰接有匹配的擦拭板(406),擦拭板(406)上表面铺设有擦拭海绵。

8.一种石英晶片圆边工艺,其特征在于:所述圆边工艺适用于以上权利要求1-7中任意一种圆边装置,且圆边工艺包括以下步骤:

S1:将需要加工的石英晶片放在第一压盘(104)和第二压盘(106)之间,正向转动调节杆(201),伸出杆(202)能够带动第二压盘(106)对石英晶片进行压紧,此时石英晶片位置固定;

S2:转动螺纹杆(301),与螺纹杆(301)螺纹连接的升降套(302)通过折弯杆(303)带动圆边辊(107)与石英晶片边缘处相抵,向上移动输出滑套,使石英晶片下边缘插入清洗罩(405)内,向清洗罩(405)内加入清洗液,然后启动驱动电机(103);

S3:驱动电机(103)输出轴通过第一压盘(104)带动石英晶片转动,圆边辊(107)对石英晶片进行圆边研磨,研磨后的石英晶片在通过清洗罩(405)的时候,能够被快速清洗;

S4:圆边处理之后,关闭驱动电机(103),反向转动调节杆(201),伸出带动第二压盘(106)朝着空心筒(105)移动,取下石英晶片便可。

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