[发明专利]沉积源及显示装置的制造装置

说明书

本发明公开一种沉积源及显示装置的制造装置。本发明的一实施例的沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，被设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。

技术领域

本发明涉及一种装置，更详细而言，涉及一种沉积源及包括沉积源的显示装置的制造装置。

背景技术

最近广泛使用电子设备。电子设备以如移动型电子设备和固定型电子设备那样的多种方式得到利用，这种电子设备为了支持多种功能而包括能够将如图像或视频的视觉信息提供给用户的显示装置。

显示装置是以视觉方式显示数据的装置，通过沉积有机层、金属层等的多种层来形成。为了形成显示装置的多个层，可使用沉积装置。沉积装置以沉积材料从沉积源喷射并经过掩模沉积在基板上的方式得到利用。

前述的背景技术是发明人为了导出本发明而具有的或者在本发明的导出过程中掌握的技术信息，不能说必须是在本发明的申请之前向一般公众公开的公知技术。

发明内容

本发明的实施例的目的是提供一种能够高效地喷射沉积材料的沉积源及包括沉积源的显示装置的制造装置。

但是，这种课题是示意性的，本发明所要解决的课题并不限定于此。

本发明的一实施例公开一种沉积源，所述沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。

根据本实施例，所述肋可包括：第一块，从所述外壳的底面向所述第一板延伸；以及第二块，设置在所述第一块的一侧，并且以与所述第一块交叉的方式延伸。

根据本实施例，所述第二块可与所述第一板相隔。

根据本实施例，所述肋可通过辐射(radiation)向所述第一板进行传热。

根据本实施例，所述第一板可进一步包括：收容部，在所述第一板的俯视上与所述多个第一开口重叠；以及多个球形部件(spherical)，设置于所述收容部中。

根据本实施例，在所述第一板的俯视上，所述多个第一开口可以从所述收容部的周围向所述收容部的中心相隔设置。

根据本实施例，所述第一板可进一步包括能够开闭所述收容部的罩部。

根据本实施例，所述罩部可通过在所述收容部滑动移动来开闭所述收容部。

根据本实施例，所述第一开口的尺寸可小于所述球形部件的直径。

根据本实施例，在所述第二板中设置有所述多个第二开口的区域可大于在所述第一板中设置有所述多个第一开口的区域。

根据本实施例，所述第二开口可大于所述第一开口。

根据本实施例，可进一步包括包围所述外壳的整个外表面的加热部。

根据本实施例，可进一步包括包围所述加热部的外侧的隔热部。

根据本实施例，所述外壳的内部侧面可以以台阶式突出。

根据本实施例，所述外壳的以台阶式突出的内部侧面可支撑所述第一板、所述第二板及所述盖中的至少一个。