[发明专利]聚苯并噁唑前体及其应用

说明书

本发明提供一种聚苯并噁唑前体，其包含式(I)所示的结构，其中，Y、Z、R₁、i、j及V的定义在本文中提供。通过所述聚苯并噁唑前体，本发明的树脂组合物可形成具有高频特性及高对比度的膜。

技术领域

本发明涉及一种聚苯并噁唑前体，特别涉及一种可用于形成具有高频特性的膜的聚苯并噁唑前体。

背景技术

5G高频通讯技术须包括高频传输、广连结以及低延迟等特点，发展一种具有低介电损耗材料并应用于高频讯号传输是一个重要的课题，其中材料的介电常数(Dielectricconstant，Dk)与介电损耗因子(Dissipation factor，Df)是影响传输速度与讯号质量的重要因素。另一方面，在半导体元件中，主要朝向将晶片或晶圆封装材料作微细化制程，常使用的方式是利用感光性树脂作微影制程来达到所需细线路图案的需求。

感光树脂组合物一般分为正型及负型的感光树脂组合物，在图案硬化膜的微细化制程上，正型感光树脂组合物具有高感度以及高分辨率等优势。然而，除了考虑到图案的分辨率外，同时也要一并考虑到未曝光区与曝光区高溶解对比性的要求。传统上，使用萘醌二叠氮化合物与碱可溶树脂组合的正型感光树脂组合物，虽可降低未曝光区的溶解速率，但提高萘醌二叠氮化合物比例，反而造成曝光区在相同的感光波长下透过率变低，显影时间过长，引起分辨率降低，以及溶解对比性下降问题。此外，萘醌二叠氮化合物本身的极性分子结构，会使得正型感光性树脂组合物所形成的图案硬化膜具有较差的介电损耗特性。

发明内容

鉴于上述技术问题，本发明的目的为提供一种可用于形成具有高频特性及高对比度的膜的树脂组合物。

为达上述目的，本发明提供一种聚苯并噁唑前体，其包含式(I)所示的结构：

其中，

Y各自独立地为二价基团；

Z各自独立地为二羧酸化合物的二价残基；

R₁各自独立地为氢或式(II)所示的基团：

其中，在R₁中所述式(II)所示的基团所占的量为25～65摩尔％，且R^a、R^b及R^c各自独立地为氢、烷基、脂环基、芳基、杂脂环基、杂芳基、杂芳基烷基或芳基烷基；或者R^b、和R^b键合的碳原子、R^c、与和R^c键合的氧原子合在一起形成含氧的杂脂环；

i为20～100摩尔％，j为0～80摩尔％，且i及j的总和为100摩尔％；及

V各自独立地为式(III)所示的基团：

其中，A各自独立地为-CH₂-、-C(CH₃)₂-、-O-、-S-、-(S＝O)-、-S(O)₂-或-C(CF₃)₂-；R各自独立地为氢、烷基、氟烷基、烷氧基、氟烷氧基、硅氧烷基(siloxane group)、环烷基、环烷氧基、烷基环烷氧基、氟烷基环烷氧基、环烷基磺酰基、烷基环烷基磺酰基、氟烷基环烷基磺酰基、芳基、芳氧基、烷基芳氧基、氟烷基芳氧基、芳基磺酰基、烷基芳基磺酰基或氟烷基芳基磺酰基；且n为0或2。

优选地，Y选自-CH₂-、-C(CH₃)₂-、-O-、-S-、-(S＝O)-、-S(O)₂-或-C(CF₃)₂-。