[发明专利]半导体存储装置在审

专利信息
申请号: 202210644175.0 申请日: 2022-06-08
公开(公告)号: CN116469436A 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 犬塚雄贵 申请(专利权)人: 铠侠股份有限公司
主分类号: G11C16/08 分类号: G11C16/08;G11C16/04
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 刘英华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 存储 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体存储装置,具备:

基板;

第1存储柱,从所述基板沿第1方向延伸,具有:

多个第1存储单元晶体管,相互串联电连接,具有第1端部和第2端部;

第1选择晶体管,与所述第1端部电连接;

第2选择晶体管,与所述第2端部电连接;

多个第2存储单元晶体管,与所述多个第1存储单元晶体管电绝缘,该多个第2存储单元晶体管相互串联电连接,具有第3端部和第4端部;

第3选择晶体管,将所述第1选择晶体管与所述第3端部电连接;

第4选择晶体管,将所述第2选择晶体管与所述第4端部电连接;

多个第3存储单元晶体管,相互串联电连接,具有第5端部和第6端部;

第5选择晶体管,将所述第2选择晶体管及所述第4选择晶体管与所述第5端部电连接;

第6选择晶体管,与所述第6端部电连接;

多个第4存储单元晶体管,与所述多个第3存储单元晶体管电绝缘,该多个第4存储单元晶体管相互串联电连接,具有第7端部和第8端部;

第7选择晶体管,将所述第2选择晶体管、所述第4选择晶体管及所述第5选择晶体管与所述第7端部电连接;以及

第8选择晶体管,将所述第6选择晶体管与所述第8端部电连接;

第1选择栅极线,在所述基板之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的第1侧对置,并与所述第1选择晶体管的栅极电连接;

多个第1字线,在所述第1选择栅极线之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的所述第1侧对置,并与所述多个第1存储单元晶体管的栅极分别电连接;

第2选择栅极线,在所述多个第1字线之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的所述第1侧对置,并与所述第2选择晶体管的栅极电连接;

第3选择栅极线,在所述基板之上,与所述基板的所述基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述第1选择栅极线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的第2侧对置,并与所述第3选择晶体管的栅极电连接;

多个第2字线,在所述第3选择栅极线之上,与所述基板的基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置分别与所述多个第1字线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的所述第2侧对置,并与所述多个第2存储单元晶体管的栅极电连接;

第4选择栅极线,在所述多个第2字线之上,与所述基板的基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述第2选择栅极线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的第2侧对置,并与所述第4选择晶体管的栅极电连接;

第5选择栅极线,在所述基板之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的第1侧对置,并与所述第5选择晶体管的栅极电连接;

多个第3字线,在所述第5选择栅极线之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的所述第1侧对置,并与所述多个第3存储单元晶体管的栅极及所述多个第1字线分别电连接;

第6选择栅极线,在所述多个第3字线之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的所述第1侧对置,并与所述第6选择晶体管的栅极电连接;

第7选择栅极线,在所述基板之上,与所述基板的所述基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述第5选择栅极线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的第2侧对置,并与所述第7选择晶体管的栅极电连接;

多个第4字线,在所述第7选择栅极线之上,与所述基板的基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述多个第3字线在所述第1方向上的位置分别相同,与所述第1存储柱的所述第2侧对置,并与所述多个第4存储单元晶体管的栅极及所述多个第2字线分别电连接;以及

第8选择栅极线,在所述多个第4字线之上,与所述基板的基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述第6选择栅极线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的第2侧对置,并与所述第8选择晶体管的栅极电连接。

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