[发明专利]半导体存储装置在审
申请号: | 202210644175.0 | 申请日: | 2022-06-08 |
公开(公告)号: | CN116469436A | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
发明(设计)人: | 犬塚雄贵 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | G11C16/08 | 分类号: | G11C16/08;G11C16/04 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘英华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 存储 装置 | ||
1.一种半导体存储装置,具备:
基板;
第1存储柱,从所述基板沿第1方向延伸,具有:
多个第1存储单元晶体管,相互串联电连接,具有第1端部和第2端部;
第1选择晶体管,与所述第1端部电连接;
第2选择晶体管,与所述第2端部电连接;
多个第2存储单元晶体管,与所述多个第1存储单元晶体管电绝缘,该多个第2存储单元晶体管相互串联电连接,具有第3端部和第4端部;
第3选择晶体管,将所述第1选择晶体管与所述第3端部电连接;
第4选择晶体管,将所述第2选择晶体管与所述第4端部电连接;
多个第3存储单元晶体管,相互串联电连接,具有第5端部和第6端部;
第5选择晶体管,将所述第2选择晶体管及所述第4选择晶体管与所述第5端部电连接;
第6选择晶体管,与所述第6端部电连接;
多个第4存储单元晶体管,与所述多个第3存储单元晶体管电绝缘,该多个第4存储单元晶体管相互串联电连接,具有第7端部和第8端部;
第7选择晶体管,将所述第2选择晶体管、所述第4选择晶体管及所述第5选择晶体管与所述第7端部电连接;以及
第8选择晶体管,将所述第6选择晶体管与所述第8端部电连接;
第1选择栅极线,在所述基板之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的第1侧对置,并与所述第1选择晶体管的栅极电连接;
多个第1字线,在所述第1选择栅极线之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的所述第1侧对置,并与所述多个第1存储单元晶体管的栅极分别电连接;
第2选择栅极线,在所述多个第1字线之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的所述第1侧对置,并与所述第2选择晶体管的栅极电连接;
第3选择栅极线,在所述基板之上,与所述基板的所述基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述第1选择栅极线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的第2侧对置,并与所述第3选择晶体管的栅极电连接;
多个第2字线,在所述第3选择栅极线之上,与所述基板的基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置分别与所述多个第1字线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的所述第2侧对置,并与所述多个第2存储单元晶体管的栅极电连接;
第4选择栅极线,在所述多个第2字线之上,与所述基板的基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述第2选择栅极线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的第2侧对置,并与所述第4选择晶体管的栅极电连接;
第5选择栅极线,在所述基板之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的第1侧对置,并与所述第5选择晶体管的栅极电连接;
多个第3字线,在所述第5选择栅极线之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的所述第1侧对置,并与所述多个第3存储单元晶体管的栅极及所述多个第1字线分别电连接;
第6选择栅极线,在所述多个第3字线之上,与所述基板的基板面平行地设置,与所述第1存储柱的所述第1侧对置,并与所述第6选择晶体管的栅极电连接;
第7选择栅极线,在所述基板之上,与所述基板的所述基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述第5选择栅极线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的第2侧对置,并与所述第7选择晶体管的栅极电连接;
多个第4字线,在所述第7选择栅极线之上,与所述基板的基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述多个第3字线在所述第1方向上的位置分别相同,与所述第1存储柱的所述第2侧对置,并与所述多个第4存储单元晶体管的栅极及所述多个第2字线分别电连接;以及
第8选择栅极线,在所述多个第4字线之上,与所述基板的基板面平行地设置,在所述第1方向上的位置与所述第6选择栅极线在所述第1方向上的位置相同,与所述第1存储柱的第2侧对置,并与所述第8选择晶体管的栅极电连接。
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