[发明专利]一种太赫兹波谱仪在审

专利信息
申请号: 202210313769.3 申请日: 2022-03-28
公开(公告)号: CN114777921A 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 刘金鸽;杨旻蔚;王丹;刘锋;吴玫晓;施杰 申请(专利权)人: 华太极光光电技术有限公司
主分类号: G01J3/28 分类号: G01J3/28;G01J3/02
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 沈栋栋
地址: 200433 上海市杨浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 赫兹 波谱
【说明书】:

发明公开一种太赫兹波谱仪,包括:激光器的探测光输出端、太赫兹接收光电导天线均与延迟线通过光纤进行连接,激光器的抽运光输出端与太赫兹发射光电导天线通过光纤连接,电路板与太赫兹接收光电导天线电性连接;安装架包括两个相正对的第一安装板和第二安装板,太赫兹发射光电导天线设置在第一安装板上,太赫兹接收光电导天线设置在第二安装板上,替换模块的座板的两端分别与第一安装板、第二安装板卡合连接,第一抛物面镜与太赫兹发射光电导天线相正对,第二抛物面镜与太赫兹接收光电导天线相正对,功能组件与第一抛物面镜、第二抛物面镜形成探测结构,探测结构的功能为反射、透射或者ATR中的其中一种。该波谱仪可以实现多个功能模块的替换。

技术领域

本发明涉及太赫兹设备技术领域,具体涉及一种太赫兹波谱仪。

背景技术

目前太赫兹检测系统应用范围较广,且测量方式多样,包括透射式太赫兹检测系统,反射式太赫兹检测系统。而国内太赫兹检测系统器件制造技术并不完善,使得太赫兹检测系统造价昂贵,因此传统的一机一用模式造成了严重的资源浪费。而目前市场上已有的单模块多功能太赫兹检测系统虽然可以一机多用,但是测试系统往往结构复杂,操作困难,使用不同功能往往需要使用者手动调节内部器件以改变系统光路,这将使太赫兹检测系统的稳定性在手动调节的过程中降低,大大影响其工作效率。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题,旨在提供一种太赫兹波谱仪。

具体技术方案如下:

一种太赫兹波谱仪,主要包括:激光器、延迟线、电路板、太赫兹发射光电导天线、太赫兹接收光电导天线、安装架及替换模块;

所述激光器具有抽运光输出端和探测光输出端,所述探测光输出端与所述延迟线通过光纤进行连接,所述抽运光输出端与所述太赫兹发射光电导天线通过光纤连接,所述延迟线与所述太赫兹接收光电导天线通过光纤连接,所述电路板与所述太赫兹接收光电导天线电性连接;

所述替换模块包括座板,所述座板上设置有第一抛物面镜、第二抛物面镜及功能组件,所述安装架包括两个相正对的第一安装板和第二安装板,所述太赫兹发射光电导天线设置在所述第一安装板上,所述太赫兹接收光电导天线设置在所述第二安装板上,所述座板的两端分别与所述第一安装板、所述第二安装板卡合连接,所述第一抛物面镜与所述太赫兹发射光电导天线相正对,所述第二抛物面镜与所述太赫兹接收光电导天线相正对,所述功能组件与所述第一抛物面镜、所述第二抛物面镜形成完整的探测结构,所述探测结构的功能为反射、透射或者ATR三种中的其中一种。

上述的一种太赫兹波谱仪中,还具有这样的特征,所述座板具有安装面,所述第一抛物面镜与所述第二抛物面镜设置于所述安装面的两个相对端,所述第一抛物面镜的轴线与所述第二抛物面镜的轴线相平行,所述第一抛物面镜与所述第二抛物面镜在所述安装面上的安装方向相同,所述第一抛物面镜的轴线与所述第二抛物面镜的轴线均与所述安装面相平行。

上述的一种太赫兹波谱仪中,还具有这样的特征,所述功能组件包括第一反射镜、第二反射镜、第三抛物面镜、第四抛物面镜及样品台;

所述第一反射镜与所述第一抛物面镜相正对,所述第一反射镜位于所述第一抛物面镜的轴线上,所述第三抛物面镜与所述第一反射镜相正对,所述第三抛物面镜与所述第一反射镜沿第二方向共线设置,所述第四抛物面镜与所述第三抛物面镜相正对,所述第四抛物面镜与所述第三抛物面镜沿第三方向共线设置,所述第二反射镜位于所述第二抛物面镜的轴线上,所述第二反射镜分别与所述第二抛物面镜、所述第四抛物面镜相正对,其中,所述第二方向平行于所述安装面,所述第二方向与所述第一抛物面镜的轴线方向相垂直,所述第三方向垂直于所述安装面,所述样品台用于放置待探测样品的台面正对所述第三抛物面镜与所述第四抛物面镜的连线。

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