[发明专利]一种光电行业废蚀刻液资源化回收利用方法

说明书

本发明提供了一种光电行业废蚀刻液资源化回收利用方法，包括如下步骤：废蚀刻液主要成分是磷酸、硝酸和醋酸；利用废蚀刻液中各成分沸点不同来分离醋酸和硝酸，蒸发温度控制在70～95℃，采用蒸汽管间接加热，硝酸、醋酸和水以混合蒸汽的形式分离出来，余下的则为磷酸浓缩液；本发明提出了一种资源化综合利用的工艺方案：废铝蚀刻液通过减压蒸馏、过滤、树脂吸附、中和反应、冷却结晶、离心分离和烘干等工序，可以生产出满足国家和行业质量标准的磷酸、磷酸氢二钠、醋酸和硝酸钠产品，满足危险废物鉴别法律法规中不属于危险废物的要求，可免于危险废物鉴别，能直接进行销售。

技术领域

本发明涉及一种废蚀刻液资源化回收利用方法，具体是一种光电行业废蚀刻液资源化回收利用方法。

背景技术

光电产业分为七大领域：光电材料与组件、光电显示器、光学组件与器材、光输入、光储存、光纤通讯、激光及其它光电应用；其中，薄膜晶体管液晶显示屏(TFT-LCD)具有重量轻、平板化、低功耗、无辐射、显示品质优良等特点，其应用领域正在逐步扩大。不少企业为了抢占市场，在国内大量布局液晶面板生产线。在薄膜晶体管液晶显示器迅猛发展的同时，在液晶显示器的制备过程中不可缺少的关键步骤TFT-LCD 湿法蚀刻制作铝导线所产生的废液——废铝蚀刻液也随之大量产生。废铝蚀刻液含有大量有毒有害物质，列入了《国家危险废物名录》，属于危险废物(废物代码：397-007-34)，若不有效合理处置，不仅导致浪费资源，也会造成环境污染和人体健康危害。因此，有效处置利用废铝蚀刻液势在必行。

铝蚀刻液蚀刻过程中，使用过的高浓度铝蚀刻液通过蚀刻机台自带的收集系统重复回用，当其浓度难以满足工艺要求时，再通过铝蚀刻废液收集系统将蚀刻废液通过管道系统回收到废液罐。废铝刻蚀液主要成分是磷酸、硝酸、醋酸混合液，废液成分一般是磷酸50％～70％、醋酸3％～20％、硝酸1％～5％，铝0.1％～0.5％及极少量的金属杂质(铁、砷)等。废铝蚀刻液由于屬于危险废物，产废企业必须委托给具有资质的危险废物处置单位进行处置。目前常见处置方式和处置工艺主要有如下几种。

1、简单酸碱中和

在早期的废铝蚀刻液处置方式中，部分处置企业采用在铝蚀刻液中加入石灰，产生的以磷酸钙为主要成分的污泥进行填埋，剩余废水则进入废水处理系统进行处置。这种处置方式过于简单粗暴，不但处置成本非常高昂，而且新产生的废物也需进行再次处置，并且形成了增量，与危险废物处置的“资源化、减量化、无害化”原则相违背，弊端过于非常明显，目前除部分非专业企业收到极少量废铝蚀刻液偶尔采用这种处置方式外，基本上已经被淘汰。

2、生产磷复

利用废铝刻蚀液与低品位磷矿粉进行复合，生产磷复肥。有专业人员在实验室中做了大量的测试，并确定了最佳工艺条件是：应温度85℃，液固比0.71，熟化时间为14d。且对实验室生产的产品样品进行检测，磷肥的质量无明显影响。但在企业实际工业生产应用中，存在废铝蚀刻液中的醋酸、硝酸和铝离子对产品的质量影响较大、对生产环境污染较大和对生产人员的健康危害较大的情况，基本上不能进行高品质磷复肥的实际生产。

3、蒸发浓缩