[发明专利]电解电容器用电极及其制造方法、以及电解电容器

说明书

本发明涉及一种电解电容器用电极的制造方法，其具备下述化学转化工序：在包含电解质的化学转化液中使包含阀作用金属的金属材料中流过电流，在上述金属材料的表面形成氧化被膜，上述化学转化液以0.03质量％以上的浓度包含硝酸化合物作为上述电解质，上述化学转化液中的磷化合物的浓度低于0.01质量％。

技术领域

本发明涉及电解电容器用电极及其制造方法、以及电解电容器。

背景技术

作为电容器元件的阳极体，使用包含阀作用金属的金属箔或多孔质烧结体。在金属箔或多孔质烧结体的表面，通过化学转化处理而形成有氧化被膜。在化学转化处理中，通常使用磷酸水溶液(专利文献1等)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-77257号公报

发明内容

发明所要解决的课题

具备使用磷酸水溶液而形成的氧化被膜的电解电容器有时漏泄电流变多。

用于解决课题的手段

本发明的第一方面涉及一种电解电容器用电极的制造方法，其具备下述化学转化工序：在包含电解质的化学转化液中使包含阀作用金属的金属材料中流过电流，在上述金属材料的表面形成氧化被膜，上述化学转化液以0.03质量％以上的浓度包含硝酸化合物作为上述电解质，上述化学转化液中的磷化合物的浓度低于0.01质量％。

本发明的第二方面涉及一种电解电容器用电极的制造方法，其具备下述化学转化工序：在包含电解质的化学转化液中使包含阀作用金属的金属材料中流过电流，在上述金属材料的表面形成氧化被膜，上述化学转化液包含硝酸化合物作为上述电解质，上述化学转化液中的磷化合物的浓度低于0.01质量％，上述化学转化工序中的上述化学转化液的温度为40℃以上。

本发明的第三方面涉及一种电解电容器用电极，其具备包含阀作用金属的金属材料、和形成于上述金属材料的表面的氧化被膜，上述氧化被膜的通过能量色散型X射线分光法而测定的磷浓度为检测限以下。

本发明的第四方面涉及一种电解电容器用电极，其具备包含阀作用金属的金属材料、和形成于上述金属材料的表面的氧化被膜，上述氧化被膜的通过飞行时间型二次离子质谱法而得到的磷酸根离子的碎片峰强度为检测限以下。

本发明的第五方面涉及一种电解电容器用电极，其具备包含阀作用金属的金属材料、和形成于上述金属材料的表面的氧化被膜，上述氧化被膜包含钽的氧化物，在上述氧化被膜的通过电子能量损失谱法得到的光谱中，在530eV～550eV之间观测到的第1峰的平均强度I_1A与在560eV～570eV之间观测到的第2峰的平均强度I_2A之差为上述第1峰的平均强度I₁的10％以下。

本发明的第六方面涉及一种电解电容器用电极，其具备包含阀作用金属的金属材料、和形成于上述金属材料的表面的氧化被膜，上述氧化被膜包含钽的氧化物，在上述氧化被膜的通过电子能量损失谱法得到的光谱中，在530eV～550eV之间观测到的第1峰的强度I₁越靠近上述金属材料的表面越小。

本发明的第七方面涉及一种电解电容器用电极，其具备包含阀作用金属的金属材料、和形成于上述金属材料的表面的氧化被膜，上述氧化被膜包含钽的氧化物，在上述氧化被膜的通过电子能量损失谱法得到的光谱中，与归属于Ta-N1端的第3峰的高能量侧相邻的第4峰在570eV以上被观测到。

发明效果

根据本发明，能够得到抑制了漏泄电流的电解电容器。

在所附的权利要求书中记述本发明的新颖的特征，但本发明涉及构成及内容这两者，与本发明的其他目的及特征一并，通过参照附图的以下的详细说明可被更好地理解。

附图说明