[发明专利]电解电容器用电极及其制造方法、以及电解电容器

权利要求书

1.一种电解电容器用电极的制造方法，其具备下述化学转化工序：在包含电解质的化学转化液中使包含阀作用金属的金属材料中流过电流，在所述金属材料的表面形成氧化被膜，

所述化学转化液以0.03质量％以上的浓度包含硝酸化合物作为所述电解质，

所述化学转化液中的磷化合物的浓度低于0.01质量％。

2.根据权利要求1所述的电解电容器用电极的制造方法，其中，所述硝酸化合物的浓度为15质量％以下。

3.一种电解电容器用电极的制造方法，其具备下述化学转化工序：在包含电解质的化学转化液中使包含阀作用金属的金属材料中流过电流，在所述金属材料的表面形成氧化被膜，

所述化学转化液包含硝酸化合物作为所述电解质，

所述化学转化液中的磷化合物的浓度低于0.01质量％，

所述化学转化工序中的所述化学转化液的温度为40℃以上。

4.根据权利要求3所述的电解电容器用电极的制造方法，其中，所述化学转化工序中的所述化学转化液的温度为75℃以下。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的电解电容器用电极的制造方法，其中，所述金属材料为包含钽的多孔质烧结体。

6.一种电解电容器用电极，其具备：

包含阀作用金属的金属材料；和

形成于所述金属材料的表面的氧化被膜；

所述氧化被膜的通过能量色散型X射线分光法而测定的磷浓度为检测限以下。

7.一种电解电容器用电极，其具备：

包含阀作用金属的金属材料；和

形成于所述金属材料的表面的氧化被膜；

所述氧化被膜的通过飞行时间型二次离子质谱法而得到的磷酸根离子的碎片峰强度为检测限以下。

8.一种电解电容器用电极，其具备：

包含阀作用金属的金属材料；和

形成于所述金属材料的表面的氧化被膜；

所述氧化被膜包含钽的氧化物，

在所述氧化被膜的通过电子能量损失谱法得到的光谱中，在530eV～550eV之间观测到的第1峰的平均强度I_1A与在560eV～570eV之间观测到的第2峰的平均强度I_2A之差为所述第1峰的平均强度I_1A的10％以下。

9.一种电解电容器用电极，其具备：

包含阀作用金属的金属材料；和

形成于所述金属材料的表面的氧化被膜；

所述氧化被膜包含钽的氧化物，

在所述氧化被膜的通过电子能量损失谱法得到的光谱中，在530eV～550eV之间观测到的第1峰的强度I₁越靠近所述金属材料的表面越小。

10.一种电解电容器用电极，其具备：

包含阀作用金属的金属材料；和

形成于所述金属材料的表面的氧化被膜；

所述氧化被膜包含钽的氧化物，

在所述氧化被膜的通过电子能量损失谱法得到的光谱中，与归属于Ta-N1端的第3峰的高能量侧相邻的第4峰在570eV以上被观测到。

11.一种电解电容器，其具备权利要求6～10中任一项所述的电解电容器用电极。