[实用新型]上电极和扩散器组件及化学气相沉积装置

说明书

本实用新型公开一种上电极和扩散器组件及化学气相沉积装置，包括上电极、扩散器、连接件和绝缘垫片，上电极上开设有多个安装通孔，扩散器上开设有多个与安装通孔一一对应的安装槽，连接件包括连接杆和第一限位部，连接杆具有相对设置的第一端和第二端，第二端与上电极连接，第一端穿过安装通孔插入至安装槽内，第一端设置有第一限位部，第一限位部卡设于安装槽内，以使扩散器连接于上电极，绝缘垫片夹设于第一限位部与安装槽的内壁之间。通过在连接件的第一限位部与安装槽的内壁之间夹设绝缘垫片，即使第一限位部受热膨胀后与扩散器的安装槽之间发生相对位移，也能保证连接件与扩散器之间不会产生研磨异物，提高了镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种上电极和扩散器组件及化学气相沉积装置。

背景技术

在显示装置领域，镀膜工艺是一种利用化学反应方式，将反应物生成固态产物，并沉积在基片表面的技术。而扩散器为一种多孔结构，能够将反应物均匀地扩散进CVD基板沉积腔室。现有技术中上电极和扩散器组件的结构如图1所示，上电极1′与扩散器2′通过螺栓3′连接，具体地，螺栓3′穿过上电极1′上安装通孔，螺纹连接于扩散器2′，且上电极1′和扩散器2′之间为真空高温状态。现有技术存在以下缺陷：由于螺栓3′和扩散器2′均为金属材质，螺栓3′易受热膨胀，从而使螺栓3′与扩散器2′发生相对位移，进而使得螺栓3′与扩散器2′之间的接触面发生磨损，从而产生研磨异物，影响了镀膜的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：提供一种上电极和扩散器组件及化学气相沉积装置，其结构简单，镀膜质量高。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

第一方面，提供一种上电极和扩散器组件，包括：

上电极，所述上电极上开设有多个安装通孔；

扩散器，所述扩散器上开设有多个与所述安装通孔一一对应的安装槽；

连接件，所述连接件包括连接杆和第一限位部，所述连接杆具有相对设置的第一端和第二端，所述第二端与所述上电极连接，所述第一端穿过所述安装通孔插入至所述安装槽内，所述第一端设置有所述第一限位部，所述第一限位部卡设于所述安装槽内，以使所述扩散器连接于所述上电极；

绝缘垫片，所述绝缘垫片夹设于所述第一限位部与所述安装槽的内壁之间。

作为上电极和扩散器组件的一种优选方案，所述绝缘垫片为四氟乙烯垫片。

作为上电极和扩散器组件的一种优选方案，所述安装槽的槽壁上端对称设置有凸部，两个所述凸部之间形成有供所述连接杆通过的第一间隙，所述第一限位部的尺寸大于所述第一间隙的尺寸，所述第一限位部与所述凸部抵接。

作为上电极和扩散器组件的一种优选方案，所述扩散器具有顶面、底面和侧面，所述顶面和所述底面相对设置，所述侧面连接所述顶面和所述底面，所述安装槽的长度方向的至少一端贯穿所述侧面。

作为上电极和扩散器组件的一种优选方案，所述上电极上开设有多个容纳槽，所述容纳槽的槽底贯穿开设有所述安装通孔，所述第二端设置第二限位部，所述第二限位部设置在所述容纳槽内。

作为上电极和扩散器组件的一种优选方案，还包括密封盖，还包括密封盖，所述密封盖罩设于所述容纳槽，以遮蔽所述第二限位部。

作为上电极和扩散器组件的一种优选方案，所述密封盖与所述上电极之间设置有密封圈。

作为上电极和扩散器组件的一种优选方案，所述密封盖包括盖本体和凸出设置在所述盖本体一侧的连接部，所述连接部的截面呈圆形，所述连接部的外周设置外螺纹，所述容纳槽的槽壁设置有内螺纹，所述连接部旋拧在所述安装槽内，且所述盖本体抵紧在所述上电极背离所述扩散器的一侧面，所述盖本体与所述上电极之间设置密封圈，所述密封圈套设在所述连接部上。