[实用新型]具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备

权利要求书

1.一种具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，包括：

安装座；

偏摆振镜，安装于所述安装座；

皮秒激光器，安装于所述安装座，并位于所述偏摆振镜的进光侧；

纳秒激光器，安装于所述安装座，并位于所述偏摆振镜的进光侧；以及

激光出射模块，安装于所述安装座，并位于所述偏摆振镜的出光侧；

所述偏摆振镜具有反射位和避让位，于所述反射位，所述纳秒激光器发射的激光经偏摆振镜反射后，传输到所述激光出射模块进行输出；

于所述避让位，所述皮秒激光器发射的激光自偏摆振镜旁穿过，并传输到所述激光出射模块进行输出。

2.如权利要求1所述的具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，所述具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备还包括两扩束镜，其中一扩束镜设于所述皮秒激光器与所述偏摆振镜之间，另一所述扩束镜设于所述纳秒激光器与所述偏摆振镜之间。

3.如权利要求2所述的具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，所述具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备还包括两扩束镜调整架，两所述扩束镜一一对应地安装于所述两扩束镜调整架。

4.如权利要求3所述的具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，所述两扩束镜调整架均与所述安装座可拆卸连接。

5.如权利要求4所述的具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，所述扩束镜调整架上设有第一长条孔，所述安装座对应所述第一长条安装孔设有第一螺孔，螺栓穿过所述第一长条孔旋入所述第一螺孔而实现所述扩束镜调整架与所述安装座的连接。

6.如权利要求1所述的具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，所述纳秒激光器与所述安装座可拆卸连接；和/或

所述皮秒激光器与所述安装座可拆卸连接。

7.如权利要求6所述的具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，所述皮秒激光器上设有安装凸耳，所述安装凸耳上设有第二长条孔，所述安装座对应所述第二长条孔设有第二螺孔，螺栓穿过所述第二长条孔旋入所述第二螺孔而实现所述皮秒激光器与所述安装座的连接。

8.如权利要求1所述的具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，所述具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备还包括振镜壳，所述偏摆振镜设于所述振镜壳，所述振镜壳设有皮秒激光入光孔、纳秒激光入光孔和出光孔，所述皮秒激光器朝向所述皮秒激光入光孔设置，所述纳秒激光器朝向所述纳秒激光入光孔设置，所述出光孔朝向所述激光出射模块设置。

9.如权利要求8所述的具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，所述振镜壳与所述安装座可拆卸连接。

10.如权利要求1至9任一项所述的具有皮秒激光器和纳秒激光器的加工设备，其特征在于，所述皮秒激光器、所述偏摆振镜和所述激光出射模块在第一直线上间隔排列，所述纳秒激光器与所述偏摆振镜所在的第二直线相较于所述第一直线倾斜设置。