[实用新型]一种用于LPCVD模块的底座及其LPCVD模块

说明书

本实用新型提供了一种用于LPCVD模块的底座及其LPCVD模块，LPCVD模块包括：具有第一连接端口和第二连接端口的底座本体、和具有第一注射器口和第二注射器口的注射器；其中，所述底座本体还具有第一气体引导管和第二气体引导管，所述第一气体引导管位于所述第一连接端口内，所述第二气体引导管位于所述第二连接端口内；所述第一连接端口与所述第一注射器口连接，所述第二连接端口与所述第二注射器口连接，由此本实用新型提供的用于LPCVD模块的底座及其LPCVD模块降低了所述注射器与所述底座本体安装不完美的情况下发生气体泄漏的风险，从而保障了后续产品的良率和可靠性。

技术领域

本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，尤其涉及一种用于LPCVD模块的底座及其LPCVD模块。

背景技术

SPT ONO型号的LPCVD设备中注射器的安装设计是通过与底座本体衔接安装在进气歧管内部。而在注射器与底座本体安装的过程中，注射器与底座本体之间无密封圈，仅仅依靠注射器与底座本体的弧面作为密封面。容易造成气体泄漏从而影响工艺，严重影响后期产品良率和可靠性。参考附图1，附图1为现有技术中LPCVD模块中注射器完美安装时结构示意图，从图中可以看出，只有当注射器与底座本体弧面完美匹配时，现有技术中注射器正常安装时气体500才能够只通过第一注射器口100a和第二注射器口100b进入所述注射器内。参考附图2，附图2为现有技术中LPCVD模块中注射器非完美安装时结构示意图，当注射器与底座本体弧面非完美匹配时，现有技术中注射器非完美安装时气体600就会从所述第一注射器口100a和所述第二注射器口100b与所述底座本体连接的地方侧漏。同时，在安装过程中对于安装手法要求较高，因为SPT ONO型号的LPCVD设备中注射器的形状为H型，安装时必须要求注射器两个注射器口都与底座本体匹配才能避免气体泄漏。而注射器和底座本体安装在进气歧管内部，安装人员无法进行测漏确认，无法验证安装是否正常，实际通气量无法保证。而在注射器与底座本体安装完毕后，注射器仍会前后左右晃动，接触面不能完全密合导致气体泄漏。

因此，如何提供一种改造后的LPCVD模块，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于LPCVD模块的底座及其LPCVD模块，以解决现有技术中存在的因注射器无法与底座本体完全密合，且在安装完毕后因晃动导致的气体泄漏问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种用于LPCVD模块的底座，包括：底座本体、设置在所述底座本体上的第一连接端口和第二连接端口、以及第一气体引导管和第二气体引导管；

其中，所述第一气体引导管位于所述第一连接端口内，所述第二气体引导管位于所述第二连接端口内；

所述第一连接端口和所述第二连接端口用于与注射器的注射口连接。

可选的，所述第一连接端口和所述第二连接端口包括凹槽型；所述第一连接端口和所述第二连接端口的槽口位于所述底座本体的顶部。

可选的，所述第一气体引导管的管口高于所述第一连接端口的槽底和/或所述第二气体引导管的管口高于所述第二连接端口的槽底。

可选的，所述第一气体引导管的管口低于所述第一连接端口的槽口和/或所述第二气体引导管的管口低于所述第二连接端口的槽口。

可选的，所述第一气体引导管与所述第一连接端口内壁之间、以及所述第二气体引导管与所述第二连接端口内壁之间具有一定间隙。

可选的，所述第一气体引导管和/或所述第二气体引导管包括空心圆柱体。

可选的，所述底座本体的材质包括不锈钢。

本实用新型还提供了一种LPCVD模块，包括：具有第一注射器口和第二注射器口的注射器和所述用于LPCVD模块的底座；