[实用新型]一种用于LPCVD模块的底座及其LPCVD模块

权利要求书

1.一种用于LPCVD模块的底座，其特征在于，包括：底座本体、设置在所述底座本体上的第一连接端口和第二连接端口、以及第一气体引导管和第二气体引导管；

其中，所述第一气体引导管位于所述第一连接端口内，所述第二气体引导管位于所述第二连接端口内；

所述第一连接端口和所述第二连接端口用于与注射器的注射口连接。

2.如权利要求1所述的一种用于LPCVD模块的底座，其特征在于，所述第一连接端口和所述第二连接端口包括凹槽型；所述第一连接端口和所述第二连接端口的槽口位于所述底座本体的顶部。

3.如权利要求2所述的一种用于LPCVD模块的底座，其特征在于，所述第一气体引导管的管口高于所述第一连接端口的槽底和/或所述第二气体引导管的管口高于所述第二连接端口的槽底。

4.如权利要求2所述的一种用于LPCVD模块的底座，其特征在于，所述第一气体引导管的管口低于所述第一连接端口的槽口和/或所述第二气体引导管的管口低于所述第二连接端口的槽口。

5.如权利要求1所述的一种用于LPCVD模块的底座，其特征在于，所述第一气体引导管与所述第一连接端口内壁之间、以及所述第二气体引导管与所述第二连接端口内壁之间具有一定间隙。

6.如权利要求1所述的一种用于LPCVD模块的底座，其特征在于，所述第一气体引导管和/或所述第二气体引导管包括空心圆柱体。

7.如权利要求1所述的一种用于LPCVD模块的底座，其特征在于，所述底座本体的材质包括不锈钢。

8.一种LPCVD模块，其特征在于，包括：具有第一注射器口和第二注射器口的注射器和如权利要求1-7任一项所述的用于LPCVD模块的底座；

其中，所述第一注射器口与所述第一连接端口连接，所述第二注射器口与所述第二连接端口连接；

所述第一气体引导管位于所述第一连接端口和所述第一注射器口形成的容纳空间内，所述第二气体引导管位于所述第二连接端口和所述第二注射器口形成的容纳空间内。

9.如权利要求8所述的一种LPCVD模块，其特征在于，所述第一注射器口嵌套在所述第一连接端口内，所述第二注射器口嵌套在所述第二连接端口内。

10.如权利要求8所述的一种LPCVD模块，其特征在于，所述第一气体引导管插入所述第一注射器口第一长度，所述第二气体引导管插入所述第二注射器口第二长度。