[实用新型]一种晶元转换机

权利要求书

1.一种晶元转换机，其特征在于：包括机架(1)、设置在机架(1)上且用于对晶元进行位置转换处理的位置转换模块和设置在机架(1)底部的行走支撑模块；

所述位置转换模块包括水平设置在机架(1)上的第一直线滑台(2)、竖向设置在第一直线滑台(2)的滑座上的伺服减速电机(3)、与伺服减速电机(3)的输出轴竖向相连接的第二直线滑台(4)、与第二直线滑台(4)的滑座横向相连接的第一伸缩推杆(5)和竖向设置在第一伸缩推杆(5)的输出轴的端部且用于对晶圆进行夹取的电动夹爪(6)。

2.如权利要求1所述的晶元转换机，其特征在于：所述位置转换模块还包括设置在机架(1)上的PLC控制器(7)和与PLC控制器(7)通讯连接的触控显示屏(8)；所述PLC控制器(7)分别与第一直线滑台(2)、第二直线滑台(4)、第一伸缩推杆(5)和电动夹爪(6)电性连接。

3.如权利要求2所述的晶元转换机，其特征在于：所述电动夹爪(6)的爪体的内端侧壁上还设置有防滑纹。

4.如权利要求3所述的晶元转换机，其特征在于：所述行走支撑模块包括竖向设置在机架(1)底部的第二伸缩推杆(9)、与第二伸缩推杆(9)的输出轴的底部相连接的支撑腿(10)、设置在支撑腿(10)底部的行走轮(11)、设置在支撑腿(10)侧端的固定板(12)和设置在固定板(12)上且用来与地面进行固定的固定螺栓(13)；所述第二伸缩推杆(9)与PLC控制器(7)通讯连接。

5.如权利要求4所述的晶元转换机，其特征在于：所述行走轮(11)为带轮刹的万向轮。

6.如权利要求5所述的晶元转换机，其特征在于：所述机架(1)上还设置有电池槽(14)，所述电池槽(14)中还设置有蓄电池(15)，所述电池槽(14)上还设置有控制开关(16)；所述蓄电池(15)通过电池槽(14)与第二伸缩推杆(9)、PLC控制器(7)和触控显示屏(8)电性连接。

7.如权利要求6所述的晶元转换机，其特征在于：所述电池槽(14)上还设置有用于为蓄电池(15)进行充电的充电接口(17)。

8.如权利要求7所述的晶元转换机，其特征在于：所述电池槽(14)上还设置有用于显示蓄电池(15)剩余电量的显示面板(18)；所述电池槽(14)上还设置有用于在蓄电池(15)的剩余电量低于阈值时进行报警的报警器(19)。