[实用新型]一种用于氮化镓MOCVD的高温反应室有效
| 申请号： | 202121339041.5 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN214937966U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 孙飞 | 申请（专利权）人： | 苏州尚勤光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/10;C30B25/12;C30B25/14;C30B29/40;H01J37/32 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 王春丽 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氮化 mocvd 高温 反应 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于氮化镓MOCVD的高温反应室，包括底盘，所述底盘上设置反应腔室，所述反应腔室内从下至上依次设置加热器电极、钨丝加热器、支撑环、石墨盘组件和喷淋头，在所述石墨盘组件的周围设置尾气收集环，且所述尾气收集环能进行尾气收集，所述石墨盘组件设置在支撑环上，且能通过钨丝加热器对石墨盘组件进行加热，其特征在于：所述支撑环的材质为石英，所述石墨盘的尺寸为300mm。
2.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓MOCVD的高温反应室，其特征在于：所述石墨盘组件包括石墨盘上盘和石墨盘下盘。
3.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓MOCVD的高温反应室，其特征在于：所述钨丝加热器的支撑板采用氮化硼材料，且厚度为2mm。
4.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓MOCVD的高温反应室，其特征在于：所述钨丝加热器的钨丝为三根一股设置。
5.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓MOCVD的高温反应室，其特征在于：所述钨丝加热器与石墨盘组件的距离不大于2mm。
6.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓MOCVD的高温反应室，其特征在于：所述尾气收集环的材质为纯石墨材质。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州尚勤光电科技有限公司，未经苏州尚勤光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202121339041.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便携式防摔型智能音响
- 下一篇：一种制作弹簧测试探头的铆压夹具
