[实用新型]一种用于生产电子级硫酸的过滤装置

说明书

本实用新型涉及电子级化工产品生产技术领域，具体涉及一种用于生产电子级硫酸的过滤装置。该过滤装置包括壳体和与壳体固定连接的顶盖，顶盖和壳体可以通过法兰固定连接，所述壳体内底部设置有底板，所述底板上设置有一个进酸孔和若干个出酸孔，出酸孔上安装有滤芯，所述滤芯并列设置在壳体内，壳体的底部设置进酸口和出酸口。本实用新型仅有一个进酸口进酸，进到壳体内的酸经若干个并列设置的滤芯过滤掉50微米至15纳米的颗粒物，过滤后的酸液汇总至一个出液口出液，相比现有技术中的串联的单个过滤器来说，体积小，占用空间少。且因由若干个并列设置的滤芯共同过滤硫酸，过滤效率高，延长了滤芯的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及电子级化工产品生产技术领域，具体涉及一种用于生产电子级硫酸的过滤装置。

背景技术

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂之一。电子级硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程，主要用于硅晶片的清洗和蚀刻，可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。

在制备电子级硫酸过程中，通常最后是将制备得到的高纯硫酸进行吹脱、过滤，以除去高纯硫酸溶液中的颗粒物杂质。现有技术中通常采用单级过滤器串联的方式对高纯硫酸进行过滤，如公开号为CN 110155955 A的发明专利，记载的硫酸过滤方式为三级循环超滤步骤，具体为：经过吹脱处理后的硫酸溶液在三级不同过滤膜孔径的过滤器内经过初滤循环、中滤循环和终端过滤，所处初滤循环中颗粒达到小于100纳米后进入所述中滤循环，所述中滤循环中颗粒达到小于50纳米后进入所述终端过滤，所述终端过滤颗粒小于10纳米后得到成品电子级硫酸。采用该单级过滤器串联的方式获得颗粒物指标合格的电子级硫酸，会造成过滤器中滤芯使用寿命因过滤颗粒直径范围大、单位体积的绝对颗粒物数量多，堵塞滤芯导致使用寿命低；另外，因高纯硫酸本身具有一定粘度，在其经过滤器过滤的颗粒物直径越小时，流速越小，造成生产效率降低。

发明内容

本实用新型为解决现有技术的电子级硫酸过滤系统使用寿命低、过滤效率低的问题，提供一种用于生产电子级硫酸的过滤装置，该过滤装置过滤效率高，且延长了滤芯的使用寿命。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种用于生产电子级硫酸的过滤装置，包括壳体和与壳体固定连接的顶盖，顶盖和壳体可以通过法兰固定连接，所述壳体内底部设置有底板，所述底板上设置有一个进酸孔和若干个出酸孔，出酸孔上安装有滤芯，所述滤芯并列设置在壳体内，壳体的底部设置进酸口和出酸口。

作为进一步优化的方案，所述壳体包括外壳和内衬。

作为进一步优化的方案，所述外壳为不锈钢外壳，具体可为304不锈钢，内衬为PFA材料制成的内衬。

作为进一步优化的方案，所述滤芯设置在底板和顶盖之间，顶盖压住滤芯。

作为进一步优化的方案，所述滤芯为折叠滤纸式滤芯。

作为进一步优化的方案，所述底板和壳体的底部之间留有空隙。

作为进一步优化的方案，所述进酸孔和进酸口中设置有进酸管道，所述出酸口中设置有出酸管道。

通过上述技术方案，本实用新型的有益效果为：

本实用新型用于生产电子级硫酸的过滤装置内仅有一个进酸口进酸，进到壳体内的酸经若干个并列设置的滤芯过滤掉50微米至15纳米的颗粒物，过滤后的酸液汇总至一个出液口出液，相比现有技术中的串联的单个过滤器来说，体积小，占用空间少。且因由若干个并列设置的滤芯共同过滤硫酸，过滤效率高，延长了滤芯的使用寿命。

因滤芯是设置在底板的出酸孔上，由顶盖压紧，当滤芯需要更换时，打开顶盖，更换滤芯即可，更换较为方便。

采用本实用新型过滤得到的电子级硫酸中颗粒物含量达到了国际SIME标准的C12标准。