[实用新型]一种可串并联切换的双级真空泵系统

权利要求书

1.一种可串并联切换的双级真空泵系统，该真空泵系统包括第一泵主机和第二泵主机，第一泵主机具有第一进气端、第一排气端和第二排气端，第二泵主机具有第二进气端、第三排气端和第四排气端；其特征在于：于第一泵主机的第一进气端连接有第一三通管，于第二泵主机的第二进气端连接有第二三通管；所述第一三通管的一端口与第二三通管的一端口之间连接有第一阀门；第一泵主机的第一排气端与第二三通管的另一端口之间连接有第二阀门；第一泵主机的第二排气端与第二泵主机的第三排气端之间连接有第三阀门。

2.根据权利要求1所述的可串并联切换的双级真空泵系统，其特征在于：所述第一泵主机、第二泵主机设置在一高低安装架上，且第一泵主机的第一排气端与第二泵主机上第一阀门侧壁端口平齐相对，通过第二阀门直接连接。