[实用新型]液态金属存储结构、离子源及具有其的显微镜

权利要求书

1.一种液态金属存储结构，其特征在于，包括存储本体，所述存储本体的下端与发射针尖连接，所述存储本体呈螺旋状结构，所述螺旋状结构的表面用以供液态金属覆盖且位于所述螺旋状结构表面的所述液态金属能流至所述发射针尖。

2.根据权利要求1所述的液态金属存储结构，其特征在于，所述液态金属布满于所述螺旋状结构的表面。

3.根据权利要求1所述的液态金属存储结构，其特征在于，所述存储本体竖直布置，或者所述存储本体和所述发射针尖均竖直布置，以便于其上的液态金属流至所述发射针尖。

4.根据权利要求1所述的液态金属存储结构，其特征在于，所述发射针尖与所述存储本体以中轴线共线的方式设置。

5.根据权利要求1-3任一项所述的液态金属存储结构，其特征在于，所述存储本体为螺旋丝状结构，且所述螺旋丝状结构表面允许覆盖于其上的所述液态金属流至所述发射针尖。

6.根据权利要求1-3任一项所述的液态金属存储结构，其特征在于，所述存储本体为螺旋片状结构，且所述螺旋片状结构表面允许覆盖于其上的所述液态金属流至所述发射针尖。

7.根据权利要求1-3任一项所述的液态金属存储结构，其特征在于，所述液态金属存储结构连接于所述发射针尖的上端并位于所述发射针尖、接线柱及陶瓷座围成的空间内。

8.根据权利要求1-3任一项所述的液态金属存储结构，其特征在于，所述液态金属为液态镓。

9.一种离子源，其特征在于，包括发射针尖和权利要求1-8任一所述的液态金属存储结构。

10.一种显微镜，其特征在于，所述显微镜为离子显微镜或离子-电子双束显微镜，所述显微镜包括权利要求9任一项所述的离子源。