[实用新型]一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置

权利要求书

1.一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块；

其中，所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆；

其中，所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,所述发光组件包括：氦氖激光源及其光源支架；

其中，所述光源支架配置在所述支撑板上，所述氦氖激光源固定在所述光源支架上。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,所述支架组件包括：配置在所述基座上的多个可调支撑底座、分别配置在多个所述支撑底座上的支撑杆、配置在所述支撑杆上的平晶支撑架。

4.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,所述运动模组包括：第一方向行走组件及配置在所述第一方向行走组件上的第二方向行走组件，其中，所述第二方向行走组件能随所述第一方向行走组件运动。

5.根据权利要求4所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,第一方向行走组件包括：配置在所述基座上的第一导轨、配置在所述第一导轨上的第一伺服电机、与所述第一伺服电机的输出轴相连的第一丝杆、套设在所述第一丝杆上的第一滑块。

6.根据权利要求5所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,所述第二方向行走组件包括配置在第一滑块上的第二导轨、配置在所述第二导轨上的第二伺服电机、与所述第二伺服电机的输出轴相连的第二丝杆、套设在所述第二丝杆上的第二滑块，其中，所述支撑板固定在所述第二滑块上。

7.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,所述支撑板为光学面包板。

8.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,平凸透镜组件包括：平凸透镜、及第一透镜支架；

其中，所述第一透镜支架配置在所述支撑板上，所述平凸透镜配置在所述第一透镜支架上。

9.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,90°离轴抛物面镜组件包括：90°离轴抛物面镜、及第二透镜支架；

其中，所述第二透镜支架配置在所述支撑板上，所述90°离轴抛物面镜配置在所述第二透镜支架上。

10.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,其特征在于,相机组件包括：相机、及相机支架；

其中，所述相机支架配置在所述支撑板上，所述相机配置在所述相机支架上。