[实用新型]一种基于石英衬底的金属超构表面双参数传感芯片有效
| 申请号： | 202120164191.0 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN214583376U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 何美璇;郎婷婷;张锦晖;曹鹏帅;冯诗敏;覃海天;王辰波;魏虹莹;张欢城;张棋 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01N21/41;G01K11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石英 衬底 金属 表面 参数 传感 芯片 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于石英衬底的金属超构表面双参数传感芯片，其特征在于：所述的传感芯片的结构由上到下分别为金属超表面层(1)，石英衬底层(2)，上层的金属超表面层(1)是由零型的金属圆环单元结构通过周期性排列组成的，下层是长方形的石英衬底层(2)。
2.根据权利要求1所述的双参数传感芯片，其特征在于：所述的基于石英衬底的金属超构表面双参数传感芯片，其衬底的材料为石英，在温度为300K时，折射率为1.95，厚度为30μm；每个单元结构的长周期尺寸和短周期尺寸分别为200μm和140μm；金属阵列的材料为金，形状为零型，每个零形金属环的外椭圆的长轴长为360μm，短轴长为240μm，内椭圆的长轴长为320μm，短轴长为80μm，厚度为0.2μm。
3.根据权利要求1所述的双参数传感芯片，其特征在于：所述的基于石英衬底的金属超构表面双参数传感芯片的工作频率为0.3THz到1.2THz，所适用的温度范围为290K到440K，适用的折射率范围为2到2.2。
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