[发明专利]一种可自主调整试样表面水平度的纳米压痕测试装置

权利要求书

1.一种可自主调整试样表面水平度的纳米压痕测试装置，其特征在于：包括纳米压痕仪部分，试样自动调平机构、气浮隔震台；所述的试样调平机构通过底部螺栓固定在底部机架上，纳米压痕仪整体设在气浮隔震台上。

2.根据权利要求1所述的一种可自主调整试样表面水平度的纳米压痕测试装置，其特征在于：所述的纳米压痕仪部分由机架、宏观驱动系统、微观压头、底座组成；所述宏观驱动部分由宏观驱动电机、宏观压头支架滑块、宏观压头套筒、微观压头套筒以及支架导轨组成；所述宏观驱动电机通过宏观压头支架滑块上所设的电机支架凸台与宏观压头支架滑块相连；所述宏观支架滑块通过两条支架导轨与机架连接，所述宏观压头套筒为宏观压头支架的一部分为一体成型结构；所述微观压头套筒通过与宏观压头套筒套合与宏观压头支架连接。

3.根据权利要求1所述的一种可自主调整试样表面水平度的纳米压痕测试装置，其特征在于：所述的试样调平机构与底部机架相连，所述试样调平机构由由检测总成、液压调平总成、底部平面位移系统组成；所述试样自动调平平台由检测总成、液压调平总成、底部平面位移系统组成；所述的检测总成由顶部支架、激光传感器组成通过支架套筒与底部支架相连接；所述液压调平总成，是由试样调平托盘、定位球销、液压调平伸缩杆、底部托盘组成；所述定位球销与底部托盘相连，所述试样调平托盘通过位于托盘下底面中心的定位球销孔与定位球销的配合和三个液压调平伸缩杆与底部托盘相连，所述底部平面位移系统由底部机架、底部平面位移滑块、底部横向丝杆、纵向丝杆、底部横向支撑滑块，底部纵向支撑滑块，组成；所述底部机架通过底部的滑槽开口与横、纵向支撑滑块连接，所述横、纵向驱动电机通过底部横、纵向驱动电机滑块内的联轴器与丝杆相连接，所述底部平面位移滑块通过底部纵向丝杠与底部横向丝杠螺旋配合连接，通过底部托盘下方的装配槽与底部托盘连接紧固。

4.根据权利要求1所述的一种可自主调整试样表面水平度的纳米压痕测试装置，其特征在于：所述底部机架下方设有气浮隔震台。