[发明专利]一种三维图形对准系统及方法

权利要求书

1.一种三维图形对准系统，其特征在于，所述三维图形对准系统包括用于提供第一光束的第一激光单元、用于提供第二光束的第二激光单元、CCD相机、第一双色镜、第二双色镜、第三空间光调制器、物镜和位移台，其中，

所述位移台上设置有晶圆，所述晶圆上制作有对位标记以及套刻检测用图形；

所述CCD相机、所述第一双色镜、所述第二双色镜、所述第三空间光调制器、所述物镜和所述位移台依次设置于同一直线光路上，所述第一双色镜和所述第二双色镜以预设角度设置，用于分别接收来自所述第一激光单元的所述第一光束和所述第二激光单元的所述第二光束。

2.根据权利要求1所述的三维图形对准系统，其特征在于，所述第一激光单元包括沿同一直线光路依次设置的第一激光器、第一透镜和第一空间光调制器。

3.根据权利要求1所述的三维图形对准系统，其特征在于，所述第二激光单元包括沿同一直线光路依次设置的第二激光器、第二透镜和第二空间光调制器。

4.根据权利要求1～3任一项所述的三维图形对准系统，其特征在于，所述对位标记为“十”字形。

5.根据权利要求1～3任一项所述的三维图形对准系统，其特征在于，所述套刻检测用图形为中心点相同的成比例放大的两个图形。

6.一种三维图形对准方法，其特征在于，应用于权利要求1～5任一项所述三维图形对准系统，所述三维图形对准方法包括：

开启第一激光单元，控制位移台移动，通过CCD相机实时采集晶圆上对位标记的图像；

检测所述CCD相机采集的图像中所述晶圆的所述对位标记中心在所述CCD相机中的坐标，当所述对位标记中心与所述CCD相机的视场中某一特定位置坐标重合时停止移动所述位移台，并记录所述位移台反馈的位置坐标；

保持所述位移台静止，通过第三空间光调制器向所述晶圆投射套刻图形，所述CCD相机采集所述第三空间光调制器向所述晶圆投射的套刻图形，以及所述晶圆上套刻用检测图形；

比较所述第三空间光调制器向晶圆投射的套刻图形与所述晶圆上套刻用检测图形，得到所述第三空间光调制器向晶圆投射的套刻图形与所述晶圆上套刻用检测图形的中心偏差；

根据所述中心偏差，调整所述CCD相机的视场中所述特定位置坐标，开启第二激光单元，调整第二双色镜，实现第一光束和第二光束的共焦。