[发明专利]一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器在审
| 申请号： | 202111364626.7 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114062316A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 肖发俊;王其发;李晨阳;侯莉萍;赵建林 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 王鲜凯 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 离激元 纳米 品质 光学 折射率 传感器 | ||
1.一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于包括基底(1)、超光滑金属膜(2)、介质层(3)和金属纳米六角板(4)；基底(1)上部设有金属膜(2)，金属膜(2)上为介质层(3)，介质层(3)的中部为金属纳米六角板(4)；所述金属膜(2)和金属纳米六角板(4)采用金属材料为金。
2.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述基底(1)、金属膜(2)和介质层(3)的对边长度比金属纳米六角板的对边长度大于0.5cm。
3.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述介质层(3)的材质为三氧化二铝或二氧化硅。
4.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述基底(1)硅或蓝宝石材料。
5.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述金属膜(2)和金属纳米六角板(4)采用金属材料为银。
6.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述金属纳米六角板的对边长度为150-250nm。
7.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器，其特征在于：所述金属纳米六角板的厚度为30-80nm，金属膜的厚度为50-150nm，介质层的厚度为3-8nm，基底厚度为200-5000μm。
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