[发明专利]稳压装置、稳压系统、稳压方法

权利要求书

1.一种稳压装置，其特征在于，包括：

呈闭环设置的第一调节回路，所述第一调节回路包括：

连接在其上的第一稳压室，所述第一稳压室上具有向外界供给气体的第一输出端；

连接在所述第一稳压室两端的调速装置和第一气阻，所述调速装置用以调节所述第一调节回路中的气体流速；以及

设置在所述调速装置与所述第一气阻之间的第一进气端；

所述稳压装置还包括：

第一压力检测装置，设置在所述第一稳压室上，用以实时获取所述第一稳压室内的当前压力数据，并反馈所述当前压力数据；以及

控制器，所述控制器被配置为：接收所述第一压力检测装置反馈的当前压力数据，根据所述当前压力数据计算与所述第一稳压室内的预设压力的压差，并根据所述压差控制所述调速装置以调整第一稳压室内的气压值。

2.根据权利要求1所述的稳压装置，其特征在于，所述调速装置连接在所述第一稳压室的进气端，所述第一气阻连接在所述第一稳压室的出气端。

3.根据权利要求1所述的稳压装置，其特征在于，所述第一气阻连接在所述第一稳压室的进气端，所述调速装置连接在所述第一稳压室的出气端。

4.根据权利要求2或3所述的稳压装置，其特征在于，还包括呈闭环设置的第二调节回路，所述第二调节回路包括：

连接在其上的第二稳压室，所述第二稳压室上具有向外界供给气体的第二输出端，所述第二输出端与所述第一进气端连通；

连接在所述第二稳压室的出气端的第一泵体；

连接在所述第二稳压室的进气端的第二气阻；以及

设置在所述第一泵体与所述第二气阻之间的第二进气端，所述第二进气端适于连通外界。

5.根据权利要求2或3所述的稳压装置，其特征在于，还包括呈闭环设置的第三调节回路，所述第三调节回路包括：

连接在其上的第三稳压室，所述第三稳压室上具有向外界供给气体的第三输出端，所述第三输出端与所述第一进气端连通；

连接在所述第三稳压室的进气端的第二泵体；

连接在所述第三稳压室的出气端的第三气阻；以及

设置在所述第二泵体与所述第三气阻之间的第三进气端，所述第三进气端适于连通外界。

6.根据权利要求1所述的稳压装置，其特征在于，还包括：

过滤器，连接在所述第一调节回路上，且置于所述第一进气端与所述第一稳压室的进气端之间。

7.根据权利要求6所述的稳压装置，其特征在于，所述过滤器连接在所述调速装置的出气端一侧。

8.根据权利要求1所述的稳压装置，其特征在于，还包括废气回收端，连接在所述调速装置的进气端与所述第一稳压室的出气端之间，且适于与待稳压装置的废气产生端连通；

其中，所述调速装置的质量流量大于废气回收端的质量流量。

9.根据权利要求1所述的稳压装置，其特征在于，所述控制器上还连接有第二压力检测装置，所述第二压力检测装置用于：当检测到的所述当前压力数据为相对气压时，获取当前环境的大气压。

10.根据权利要求1所述的稳压装置，其特征在于，所述调速装置被构造为调速泵，所述控制器控制所述调速泵的转速以调节所述第一调节回路中的气体流速。

11.根据权利要求1所述的稳压装置，其特征在于，所述调速装置与所述第一气阻之间连接有第一阀，所述第一阀的一阀口被构造为所述第一进气端。

12.根据权利要求4所述的稳压装置，其特征在于，所述第一泵体与所述第二气阻之间连接有第二阀，所述第二阀的一阀口被构造为所述第二进气端。

13.根据权利要求5所述的稳压装置，其特征在于，所述第二泵体与所述第三气阻之间连接有第三阀，所述第三阀的一阀口被构造为所述第三进气端。