[发明专利]一种超低温放电单元

权利要求书

1.一种超低温放电单元，包括绝缘管(7)以及高压电极管(8)，所述高压电极管(8)设置在绝缘管(7)内部，所述绝缘管(7)和高压电极管(8)之间设置有通气内腔(701)，所述绝缘管(7)的上下两端分别连接有进气口(5)以及出气口(6)，所述进气口(5)用于通入待处理的反应气体，所述进气口(5)和出气口(6)分别与通气内腔(701)相连通，其特征在于，所述高压电极管(8)的内部设置有第一通油内腔(801)，所述高压电极管(8)的两端分别连接有第一进油口(1)和第一出油口(2)，所述第一进油口(1)和第一出油口(2)分别与第一通油内腔(801)相连通，所述绝缘管(7)的外部中间设置有低压电极管(9)，所述低压电极管(9)和绝缘管(7)之间设置有第二通油内腔(901)，所述低压电极管(9)的外部连接有第二进油口(3)和第二出油口(4)，所述第二进油口(3)和第二出油口(4)分别与第二通油内腔(901)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种超低温放电单元，其特征在于，所述进气口(5)与绝缘管(7)之间设置有第一连接头(501)，所述出气口(6)与绝缘管(7)之间设置有第二连接头(601)，所述第一连接头(501)和第二连接头(601)用于对绝缘管(7)的两端进行密封，所述第一连接头(501)和第二连接头(601)分别与通气内腔(701)相连通，所述进气口(5)和出气口(6)分别与第一连接头(501)和第二连接头(601)内部相连通。

3.根据权利要求1所述的一种超低温放电单元，其特征在于，所述第一进油口(1)、第二进油口(3)、第一出油口(2)以及第二出油口(4)分别连接有通油管(18)，所述通油管(18)上套设有防冷凝机构，所述防冷凝机构用于除去通油管(18)外部的冷凝水。

4.根据权利要求3所述的一种超低温放电单元，其特征在于，所述防冷凝机构包括套管(14)，所述套管(14)内部贯穿有通孔(15)，所述通油管(18)通过通孔(15)贯穿套管(14)，所述套管(14)内部开设有烘干内腔，所述套管(14)上连接有第一通气口(16)以及第二通气口(17)，所述第一通气口(16)和第二通气口(17)用于向套管(14)循环通入烘干气体。

5.根据权利要求1所述的一种超低温放电单元，其特征在于，所述超低温放电单元还包括上板(10)、下板(11)以及立板(13)，所述上板(10)和下板(11)分别固定在立板(13)的上下两侧，所述高压电极管(8)分别贯穿上板(10)和下板(11)，所述第一进油口(1)设置在上板(10)的上方，所述第一出油口(2)设置在下板(11)的下方，所述立板(13)底部固定有底座(1301)。

6.根据权利要求5所述的一种超低温放电单元，其特征在于，所述立板(13)的中间设置有托板(12)，所述托板(12)设置在低压电极管(9)的底部，所述托板(12)用于承托低压电极管(9)，所述高压电极管(8)和绝缘管(7)贯穿托板(12)。