[发明专利]一种氟化物泄漏检测设备及检测方法

权利要求书

1.一种氟化物泄漏检测设备，其特征在于：包括收集罩(1)、分离装置(2)以及检测装置(3)；

所述收集罩(1)上设有用于收集泄漏气体的收集口(5)以及与所述分离装置(2)连通的输出口(7)；

所述分离装置(2)配置用于将所述泄漏气体分离出氟化物气体并输出；所述检测装置(3)与所述分离装置(2)输出端连通，用于检测所述氟化物气体的浓度数据；

所述收集罩(1)上还设有输入口(6)，所述输入口(6)连通有载气瓶(4)；所述载气瓶(4)内设有惰性气体；所述输入口(6)与所述载气瓶(4)间设有第一流量控制器(8)；所述输出口(7)与所述分离装置(2)间设有第二流量控制器(9)；

所述输入口(6)还连通有用于输入标准气体的输入装置(10)，所述标准气体成分与所述泄漏气体成分一致。

2.根据权利要求1所述的氟化物泄漏检测设备，其特征在于：所述输出口(7)与所述第二流量控制器(9)间设有抽气泵(12)，所述抽气泵(12)输出端还连通有排气管道(13)，所述排气管道(13)内设有排气阀门(14)。

3.根据权利要求1所述的氟化物泄漏检测设备，其特征在于：所述分离装置(2)包括若干个并行设置的检测通道(15)；所述检测通道(15)的一端与所述第二流量控制器(9)连通，另一端通过选通阀(16)与所述检测装置(3)连通；

每个所述检测通道(15)内均设有检测阀门(17)以及用于将所述泄漏气体分离的分离柱(18)。

4.根据权利要求1所述的氟化物泄漏检测设备，其特征在于：所述载气瓶(4)与所述输入口(6)间通过输入管道(19)连通；所述第一流量控制器(8)设置在所述输入管道(19)内；所述输入管道(19)内且靠近所述输入口(6)一端设有输入阀门(20)。

5.根据权利要求1所述的氟化物泄漏检测设备，其特征在于：所述输出口(7)与所述分离装置(2)间通过输出管道(21)连通，所述第二流量控制器(9)设置在所述输出管道(21)内。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的氟化物泄漏检测设备，其特征在于：所述收集口(5)设置在所述收集罩(1)底部；所述收集罩(1)上设有喉箍(22)；所述收集罩(1)底部设有密封圈(27)；所述收集罩(1)内安装有风扇(11)。

7.一种利用如权利要求2所述的氟化物泄漏检测设备的检测方法，其特征在于：包括以下步骤：

检测泄漏：将所述收集罩(1)安装在生产管道上；累积t₁时间，开启所述分离装置(2)以及检测装置(3)；判断所述检测装置(3)输出的气体浓度大于设定值时，则所述生产管道存在泄漏；

获取所述氟化物气体的浓度峰面积S1：判断所述检测装置(3)输出的浓度峰形完整时，则直接获取所述检测装置(3)输出的浓度峰面积S₁；判断所述检测装置(3)输出的浓度峰形削峰时，开启所述载气瓶(4)并调节所述第一流量控制器(8)流量Q₁与所述第二流量控制器(9)流量Q₂的比例，获取所述检测装置(3)输出的浓度峰面积S₁；

注入标准气体：通过所述输入装置(10)向所述收集罩(1)内注入体积为V₂的标准气体，累积t₂时间，获取所述检测装置(3)输出的浓度峰面积S₂；

计算泄漏率：

其中，q₁为泄漏气体中氟化物气体浓度，q₂为标准气体中氟化物气体浓度。

8.根据权利要求7所述的利用氟化物泄漏检测设备的检测方法，其特征在于：检测所述泄漏气体前还包括以下步骤：

开启所述抽气泵(12)以及排气阀门(14)，将所述收集罩(1)内的气压抽至负压；

关闭所述抽气泵(12)，开启所述载气瓶(4)，将所述收集罩(1)内的气压充至标准大气压后继续充气3-5min；关闭所述载气瓶(4)以及排气阀门(14)。