[发明专利]一种用于快速清洗激光剥蚀池的装置

权利要求书

1.一种用于快速清洗激光剥蚀池的装置，其特征在于：包括第一两位五通阀、第二两位五通阀，第一两位五通阀上设置有第一连接口、第二连接口、第三连接口、第四连接口、第五连接口，当第一连接口与第四连接口相连通时，第二连接口与第五连接口相连通；当第一连接口与第三连接口相连通时，第二连接口与第四连接口相连通；所述第二两位五通阀上设置有第六连接口、第七连接口、第八连接口、第九连接口、第十连接口，当第六连接口与第八连接口相连通时，第七连接口与第九连接口相连通；当第六连接口与第九连接口相连通时，第七连接口与第十连接口相连通；所述第六连接口与第三连接口通过第一气路管道相连通，第四连接口通过第二气路管道与激光剥蚀池的进气口相连通，激光剥蚀池的出气口通过出气管道与第七连接口相连通。

2.如权利要求1所述的用于快速清洗激光剥蚀池的装置，其特征在于：所述第一连接口与工作气体管路相连通，第二连接口与清洗气体管路相连通，第八连接口呈封闭状态，第九连接口与电感耦合等离子体质谱仪相连通。

3.如权利要求2所述的用于快速清洗激光剥蚀池的装置，其特征在于：所述第一两位五通阀、第二两位五通阀均包括固定板、滑动板，固定板与滑动板滑动连接且两者之间保持密封状态；所述第一两位五通阀上的固定板从上至下等间距设置有第三连接口、第四连接口、第五连接口，第一两位五通阀上的滑动板从上至下设置有第一连接口、第二连接口，第一连接口与第二连接口之间的间距与第三连接口、第四连接口、第五连接口之间的间距相一致；所述第二两位五通阀上的固定板从上至下等间距设置有第八连接口、第九连接口、第十连接口，第二两位五通阀上的滑动板从上至下设置有第六连接口、第七连接口，第六连接口与第七连接口之间的间距与第八连接口、第九连接口、第十连接口之间的间距相一致。