[发明专利]一种退火装置及其工作方法

权利要求书

1.一种退火装置，其特征在于，包括：

退火腔主体；

设置于所述退火腔主体外部的气流循环风机，所述气流循环风机包括旋转件和设置于所述旋转件外侧的壳体，所述壳体与所述退火腔主体密封连通。

2.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述气流循环风机包括：

自所述壳体内部延伸至所述壳体外部的转动轴，所述旋转件与所述转动轴固定连接；

用于驱动所述转动轴围绕所述转动轴的中心轴进行旋转的电机，所述电机设置于所述壳体的外部。

3.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，还包括：

固定于所述退火腔主体的内侧壁的一个或者多个间隔的载物隔板，所述载物隔板中设置有若干个间隔的孔洞，所述孔洞贯穿所述载物隔板；

多个间隔的载物隔板沿着从所述退火腔主体的底部至所述退火腔主体的顶部的方向排布。

4.根据权利要求3所述的退火装置，其特征在于，所述孔洞的孔径为3mm－5mm，相邻所述孔洞的间距为1mm－3mm。

5.根据权利要求3或4所述的退火装置，其特征在于，所述载物隔板朝向退火腔主体的顶面的表面具有若干凸起，所述孔洞设置于相邻所述凸起的顶点之间。

6.根据权利要求5所述的退火装置，其特征在于，相邻的凸起相互间隔，所述孔洞设置于相邻所述凸起之间；

或者，相邻的凸起的边缘连接，所述载物隔板朝向退火腔主体的顶面的表面的形状为波浪形。

7.根据权利要求5所述的退火装置，其特征在于，相邻所述凸起的顶点之间的距离为4mm－10mm。

8.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，还包括：温度控制单元，所述温度控制单元包括：温控器、电力调整器、温度传感器和加热单元，所述温控器和电力调整器位于所述退火腔主体的外部，所述温度传感器和所述加热单元位于所述退火腔主体的内部；所述温控器的输入端与所述温度传感器电学连接；所述温控器的输出端与所述电力调整器的输入端连接，所述电力调整器的输出端与所述加热部件连接。

9.根据权利要求8所述的退火装置，其特征在于，还包括：

设置于所述退火腔主体的外部的真空泵，所述真空泵适于给所述退火腔主体抽气；

进气单元，所述进气单元包括保护气源、进气管道和位于所述进气管道上的进气口电磁阀，所述进气管道分别与所述保护气源和所述退火腔主体连通，所述进气口电磁阀适于关闭或打开保护气源进入所述退火腔主体的通道；

设置于所述退火腔主体内部的第一压力开关，所述第一压力开关设置有第一预设真空度；

设置于所述退火腔主体内部的第二压力开关，所述第一压力开关设置有第二预设真空度，所述第二预设真空度大于第一预设真空度；

逻辑控制模块，所述逻辑控制模块分别与所述第一压力开关、所述第二压力开关电学连接，所述逻辑控制模块适于控制所述真空泵、所述进气口电磁阀、所述气流循环风机和所述电力调整器。